Di dalam bilik proses PECVD, profil suhu di dalam chamber tersebutlah yang menentukan kualiti filem yang terbentuk. Jika alat pemancar haba mula berubah kedudukannya, ia akan dapat dikesan dengan segera. Tekanan pada filem, ketepatan ketebalan filem, serta jumlah zarah-zarah yang terdapat dalam filem juga akan terjejas. Kami telah mencipta alat pemancar haba inframerah yang sesuai untuk memenuhi keperluan termal pada proses pembuatan cip moden. Alat ini merupakan pengganti yang sempurna untuk peralatan antarabangsa yang sedang digunakan sekarang.
Inti daripada alat ini ialah pancaran gelombang inframerah pendek, yang berfungsi untuk memindahkan haba secara langsung ke kaca kuarsa dan susceptor. Tanggapan alat ini sangat cepat, iaitu dalam masa beberapa saat sahaja. Oleh itu, tetapan suhu dapat dikembalikan dengan cepat setelah pintu dibuka atau apabila terdapat perubahan dalam proses pengeluaran. Kestabilan suhu pada setiap wafer adalah sekitar ±0.1°C, yang memastikan proses pembakaran filem berjalan lancar dan mengawal ketepatan ukuran cip dengan baik.
Alat ini sesuai digunakan di bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100. Ia tidak menghasilkan sebarang zarah, dan profil pancaran habanya dapat disahkan hingga tahap 0.1 μm. Kecekapan alat ini datang daripada proses penukaran tenaga rintangan kepada tenaga radiasi. Dalam penggunaan harian, alat ini beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan.
Apa yang membuat alat ini sesuai untuk digunakan dalam proses PECVD ialah kemampuannya untuk mematuhi batasan termal yang ditetapkan serta memberikan hasil yang konsisten setiap kali proses berlangsung. Ini membolehkan pengeluaran dilakukan dengan lebih efisien, mengurangkan jumlah wafer yang rosak, dan memudahkan perancangan waktu operasi. Alat ini boleh digabungkan dengan chamber sedia ada tanpa perlu melakukan penyesuaian besar-besaran, sehingga jadwal dan prosedur operasi dapat dipertahankan seperti biasa.
Pemasangan alat ini mudah, tetapi parameter termal dan kadar pancaran haba susceptor perlu disesuaikan agar selaras dengan kurva keluaran alat pemancar haba tersebut. Lakukan pemantauan profil suhu secepat mungkin selepas penggantian alat tersebut, dan pastikan ketepatan suhu terpelihara. Setelah semuanya diselaraskan, proses pengeluaran akan tetap stabil dari satu shift ke shift yang lain.