Berhentilah menebak suhu wafer secara acak
Jika Anda ingin membangun “smart fab”, Anda pasti menyadari bahwa bereaksi terhadap masalah setelahnya merupakan hal yang sangat menyulitkan. Anda perlu mengetahui apa yang sedang terjadi saat ini.
Namun, ada masalah dengan alat pengukur suhu wafer: Anda tidak bisa begitu saja menempelkan termokopel pada permukaan wafer. Hal ini akan merusak seluruh wafer atau bahkan membuat wafer menjadi bengkok. Jadi, cara ini tidak bisa digunakan.
Itulah mengapa kita menggunakan sistem inframerah yang efisien. Alih-alih menyentuh wafer, sensor-sensor ini hanya “mengamati” radiasi panas dan mengubahnya menjadi data digital. Dengan demikian, Anda dapat mendapatkan peta suhu lengkap di seluruh permukaan wafer dalam beberapa milidetik saja. Sangat cepat.
Melampaui angka tunggal
Banyak orang berpikir bahwa “berpindah ke sistem digital” berarti hanya memasang layar di mesin. Padahal bukan begitu. Yang penting adalah detailnya.
Sensor inframerah tidak hanya memberikan satu nilai suhu rata-rata, tetapi juga peta suhu secara spasial. Ketika data tersebut dikirim ke sistem PLC atau SCADA, Anda akan mendapatkan gambaran suhu yang aktual dari bagian dalam mesin tersebut.
Inilah keunggulannya. Anda dapat membuat sistem berbasis loop tertutup. Jika ada area dingin di permukaan wafer, sistem akan segera mendeteksinya dan menyesuaikan elemen pemanasnya secara otomatis. Tidak perlu penyesuaian manual, tidak perlu menebak lagi.
Realitas yang rumit dari teknologi optik
Tidak semuanya mudah. Penggunaan sensor inframerah berkecepatan tinggi membutuhkan pandangan yang jelas. Jika zat kimia menumpuk di lensa, hasil pengukuran akan salah. Untuk mengatasinya, Anda perlu merencanakan proses pembersihan lensa atau menggunakan gas pelindung agar permukaan lensa tetap bersih. Jika hal ini diabaikan, data yang diperoleh akan tidak akurat, dan Anda harus kembali menebak.
Menyesuaikan sistem agar cocok
Kita tahu bahwa ruang di dalam mesin sangat sempit. Kita merancang sistem ini agar dapat dipasang dengan mudah. Dengan mengubah sinyal suhu analog menjadi paket data digital, kita dapat menghilangkan gangguan sinyal yang sering terjadi di lingkungan ber tegangan tinggi. Pada dasarnya, ini merupakan pengganti yang baik untuk probe analog yang kuno.
Selain itu, data yang dihasilkan juga dapat digunakan untuk analisis AI. Alih-alih bingung mencari penyebab deformasi wafer, Anda dapat melihat gradien suhu yang menyebabkan masalah tersebut. Dengan demikian, prosesnya menjadi lebih mudah.