Di lantai pabrik pengolahan wafer, suhu 90°C bukan sekadar angka saja—itu merupakan batas suhu yang digunakan untuk mengontrol lebar garis yang dihasilkan. Jika suhu tersebut naik setengah derajat saja, maka hasil produksi akan memiliki cacat yang baru terlihat setelah proses pengembangan dilakukan. Kami telah merancang lampu inframerah khusus untuk alat-alat Applied Materials, sehingga suhu dapat dikendalikan dengan baik.
Apa yang penting secara teknis?
Lampu ini menggunakan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek, yang disesuaikan agar sesuai dengan karakteristik penyerapan zat fotorezist yang digunakan. Parameter yang penting adalah keseragaman suhu: ±0,1°C di seluruh permukaan wafer selama proses pemanasan berlangsung. Nilai ini diukur menggunakan termokopel yang telah dikalibrasi, dan nilainya tetap konstan sepanjang proses pemanasan. Kemasan lampu berbahan kuarsa dan komponen-komponennya dirancang khusus untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, sehingga tidak ada partikel yang terbentuk saat proses berlangsung.
Repetibilitas hasil produksi tetap berada dalam kisaran 1% selama lebih dari 5.000 jam, sehingga pola pemanasan yang sama dapat dipertahankan dari satu batch ke batch berikutnya.
Mengapa hal ini penting?
Alat-alat Applied Materials bekerja dalam siklus pemanasan yang sangat ketat, dan proses pengolahan fotorezist sangat sensitif terhadap laju perubahan suhu dan waktu pemanasan. Lampu ini bisa digunakan tanpa perlu mengubah komponen mekanis yang ada, dan respons kontrolnya cukup cepat agar suhu tetap stabil selama proses pemanasan berlangsung. Dengan demikian, jumlah produk yang harus diperbaiki berkurang, sehingga efisiensi produksi meningkat. Selain itu, energi yang digunakan juga berkurang, karena lampu hanya menyala saat diperlukan saja. Proses produksi menjadi lebih efisien ketika profil suhu tetap stabil, sehingga tidak perlu lagi memperhatikan fluktuasi suhu selama proses pemanasan.
Detail praktis:
Lampu ini dapat digunakan dengan konektor dan sistem kontrol standar dari Applied Materials. Namun, Anda perlu memastikan jenis konektor dan bracket pemasangannya sesuai dengan versi alat dan konfigurasi ruang bersih yang digunakan. Lakukan uji coba singkat untuk menentukan titik suhu yang tepat. Di ruang bersih dengan kelembapan tinggi, pastikan saluran pendingin tetap kering dan terventilasi dengan baik; kelembapan berlebih dapat menyebabkan gangguan pada sistem kontrol dan menghentikan proses pemanasan. Setelah semuanya terkalibrasi dengan benar, lampu ini tidak perlu dikalibrasi lagi, kecuali untuk pemeriksaan sensor secara rutin.