Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer
Berhentilah menebak suhu wafer secara acak Jika Anda ingin membangun “smart fab”, Anda pasti menyadari bahwa bereaksi terhadap masalah setelahnya...
Pemanas dengan tingkat presisi yang tinggi
Di tingkat litografi, seseorang akan belajar dengan cepat: pergeseran sebesar setengah derajat selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk...