Dalam proses pengeringan katalis, hal ini bukanlah sekadar prosedur sederhana saja—ini merupakan proses yang membutuhkan kontrol termal yang ketat. Jika kontrolnya tidak tepat, maka hasil produksi bisa terpengaruh. Oven konvektif menyebabkan perbedaan suhu di berbagai bagian wafer. Hal ini akan mengakibatkan penyebaran katalis yang tidak merata, adanya lubang-lubang kecil pada wafer, serta kerusakan lainnya yang muncul saat proses penyatuan wafer.
Kami menciptakan lampu pengeringan khusus untuk mengatasi masalah tersebut: lampu jenis NIR yang dikendalikan secara elektronik, dan dirancang dengan prinsip kontrol termal yang sama seperti yang digunakan dalam proses pemanasan bahan fotoresist dan litografi.
Yang dibutuhkan setiap hari adalah sistem yang dapat dikontrol dengan baik dan dapat diverifikasi kualitasnya. Sistem ini mampu mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat, tanpa kontak langsung dengan substrat, dan memberikan pola suhu yang konsisten. Keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer tetap berada dalam rentang ±0,1°C, dan stabilitas suhu tetap terjaga meskipun sistem digunakan terus-menerus.
Sistem ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1 hingga kelas 100. Bahan-bahan dan komponen yang digunakan dirancang sedemikian rupa agar tidak menimbulkan partikel-partikel yang dapat merusak produk. Sistem ini juga dapat digunakan berulang-ulang setiap shiftnya, dengan pola suhu dan perilaku yang konsisten.
Alasan mengapa sistem ini efektif adalah karena ia mampu menghilangkan variabilitas dalam proses pengeringan. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk proses pengeringan menjadi lebih singkat, bentuk katalis menjadi lebih seragam, dan jumlah pekerjaan ulang berkurang. Konsumsi daya juga berkurang karena lampu hanya memanaskan objek yang ditargetkan, bukan seluruh ruangan. Keandalan sistem ini sangat tinggi, sehingga dapat digunakan 24/7, dengan interval perawatan yang dapat direncanakan, bukan kerusakan yang tak terduga.
Sebuah catatan praktis: proses pengeringan menggunakan NIR memerlukan geometri yang tepat dari alat pengering dan posisi reflektor yang benar, agar tidak terjadi bayangan di area yang perlu diproses. Kami menyediakan kit verifikasi yang mencakup peta suhu, profil intensitas cahaya, serta perangkat pendukung yang sesuai untuk digunakan di ruang bersih. Dengan demikian, hasil penggunaan sistem ini akan sesuai dengan spesifikasi yang ditetapkan.