फैक्ट्री में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया के दौरान होने वाला तापीय विचलन कोई सैद्धांतिक अवधारणा नहीं है; बल्कि यह ऐसी समस्या है जिसका प्रभाव वास्तव में महसूस किया जा सकता है। जब गर्म हवा के कारण वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर नहीं रह पाता, तो उनके आयाम बदल जाते हैं, और इस कारण हर दिन वही दोष उत्पन्न होते रहते हैं। हमने ऐसी समस्याओं को रोकने हेतु एयर कंडीशनिंग/हीटर मॉड्यूल विकसित किया है; ताकि तापमान को नियंत्रित रखा जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
यह मॉड्यूल नियर-इन्फ्रारेड (NIR) ऊर्जा का उपयोग करके एक समान तापीय वातावरण बनाता है; ताकि हर बार वेफरों पर एक ही तापमान प्राप्त हो। इससे फोटोरेजिस्ट का व्यवहार हर बार समान रहता है। यह डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के साथ भी संगत है; क्योंकि इसमें कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही होता है। हीटर की रचना आधुनिक लिथोग्राफी प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं के अनुरूप ही की गई है।
आपको पहले ही जानना आवश्यक है…
इस मॉड्यूल को स्थापित करने हेतु, लक्षित AHU की हवा-प्रवाह प्रणाली एवं ज्यामिति के अनुरूप ही इसे लगाना आवश्यक है। अनुपयुक्त डक्टिंग के कारण तापमान-वितरण बिगड़ जाता है। NIR ऊर्जा-वितरण को विशिष्ट क्लीनरूमों की आवश्यकताओं के अनुरूप ही समायोजित करना आवश्यक है। एक बार ऐसा हो जाने के बाद, यह मॉड्यूल स्थिर प्रदर्शन देता है… लेकिन इसके लिए सही यांत्रिक संरचना आवश्यक है।