लिथोग्राफी प्रक्रिया में, नरम बेकिंग के दौरान तापमान में एकरूपता बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि वेफर पर तापमान में 1°सेल्सियस का अंतर हो जाए, तो सीडी नियंत्रण प्रभावित हो जाता है, एवं फोटोरेजिस्ट में दोष उत्पन्न होने लगते हैं। हमने ऐसी समस्याओं को दूर करने हेतु क्लीनरूमों में उपयोग होने वाले आईआर हीटर विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्व, वेफर पर तेज़ एवं सीधे तरीके से ऊष्मा पहुँचाते हैं; इसलिए सेटपॉइंट कुछ ही सेकंडों में स्थिर हो जाता है। बेकिंग क्षेत्र में वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°सेल्सियस के भीतर ही रहता है, एवं पुनरावृत्ति क्षमता भी नियंत्रित रहती है। हीटरों की संरचना क्लास 1–100 क्लीनरूमों के लिए ही बनाई गई है; इनमें सील्ड जॉइंट होते हैं, एवं कोई खुले तार नहीं होते, ताकि गंदगी उत्पन्न न हो। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी हीटरों का प्रदर्शन स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम बदलाव होता है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। हमारे आईआर हीटर, नरम एवं कठोर बेकिंग दोनों हेतु आवश्यक तापमान प्रदान करते हैं; साथ ही वे जल्दी ही ठंडे हो जाते हैं, जिससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि वेफर ही गर्म होता है, न कि चैंबर की दीवारें। इसके परिणामस्वरूप कम रीवर्किंग होती है, सीडी वितरण अधिक सटीक होता है, एवं प्रक्रिया का प्रदर्शन हर शिफ्ट में स्थिर रहता है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
ओवन के पोर्टों की ज्यामिति एवं ऊर्जा आपूर्ति को उचित रखना आवश्यक है। हम इंटीग्रेशन को आसान बनाने हेतु इंटरफेस ड्रॉइंग्स एवं कैलिब्रेशन कर्व्स भी प्रदान करते हैं। क्लीनरूम-उपयुक्त विद्युत सुविधाओं की व्यवस्था करना आवश्यक है, एवं वेफर हैंडलिंग रोबोट्स के लिए आवश्यक जगह भी सुनिश्चित करनी होगी। ये हीटर SECS/GEM होस्टों के साथ संगत हैं; लेकिन यदि आप निश्चित तापमान के बजाय रेसिपी-आधारित बेकिंग प्रक्रिया चाहते हैं, तो आपको एक विशेष कंट्रोलर की आवश्यकता होगी।