क्लीन रूम ओवन – इन्फ्रारेड हीटर
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, नरम बेकिंग के दौरान तापमान में एकरूपता बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि वेफर पर तापमान में 1°सेल्सियस का अंतर हो जाए, तो सीडी...
वैक्यूम ओवन हीटिंग एलिमेंट निर्माण
फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक एक वार्म-अप नहीं है। यह एक सख्त प्रक्रिया सीमा है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक पर तापमान में कुछ डिग्री की चूक आपके क्रिटिकल...