בחדר הייצור, שינוי של 0.1°C במהלך תהליך הייבוש יכול לגרום לשינויים באיכות הוופר, להיווצרות של חומרים מזהמים ולירידה בתפוקה. מייבשים רגילים אינם מסוגלים להתמודד עם שינויים בטמפרטורה בין שכבות הוופר ועם עליות פתאומיות בטמפרטורה שנוצרות לאחר שינויים תרמיים. ייצרנו את מייבש הוופר הזה כדי להסיר את אי-הוודאות הזו מהתהליך.
מה חשוב בתהליך הייבוש אנו שומרים על אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C, באמצעות שימוש בגלי אינפרא-אדום בחדר מבודד בעזרת קוורץ, שמעביר חום בלי לגרום להיווצרות של חלקיקים. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ואנו מוודאים שאין היווצרות של חלקיקים באמצעות מעקב בזמן אמת. פרופילי הייבוש של הפוטורזיסט נשארים עקביים, עם יציבות של ±0.2°C, כך ששליטה בממדים החשובים ובפרופיל הקירות נשארת מדויקת. ארכיטקטורת החימום שומרת על טמפרטורה קבועה של הוופר, כך שכל סדרת ייצור מקבלת את אותה טמפרטורה.
למה זה מתאים לתהליך הליתוגרפיה בתהליך הליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט, המייבש קובע ישירות את רוחב הקווים, את רמת ההידבקות של החומרים ואת כמות החומרים הנשארים לאחר הייבוש. אחידות גבוהה משמעותה פחות עבודה נוספת ופחות צורך בבדיקות חוזרות. תאימות לחדרי ניקיון והיעדר היווצרות של חלקיקים מפחיתים את מספר הפגמים, וזמן העבודה נשאר קבוע ללא הפרעות, כך שהתהליך יכול להמשיך לפעול. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהגלי אינפרא-אדום פועלים במהירות ובהספק נמוך, ללא שינויים בטמפרטורה. התוצאה היא תהליך יציב, פחות שינויים וזמני עיבוד צפויים.
מה נדרש להתקנה המכשיר דורש אספקת אנרגיה מיוחדת וממוסננת, וכן מסלול לניקוי באמצעות חנקן, כדי לשמור על איכות הוופר בטמפרטורות גבוהות. ההתקנה פשוטה על מסילות סטנדרטיות, אך יש להתאים את המסה התרמית ואת כיוון החיבורים למכשירים הקיימים, כדי שלא יהיו הפרעות מכניות. יש לבצע בדיקה קצרה כדי לוודא שהפרופיל של הייבוש עקבי, ולאחר מכן הפרופיל נשאר עקבי לאורך כל סדרות הייצור.