במפעלי הייצור, סטיות טמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינן רק תיאוריה – זו בעיה אמיתית שניתן לחוש בה. כאשר האוויר החם אינו מצליח לשמור על טמפרטורת הוופר בטווח של ±0.1°C, הממדים הקריטיים של הוופר משתנים, וכתוצאה מכך המפעל נאלץ להתמודד עם אותן בעיות יום אחר יום. פיתחנו מודול לחימום באמצעות מיזוג אוויר, כדי למנוע את הסטיות האלו, על ידי שמירה על טמפרטורה קבועה ובשליטה הדוקה.
מה חשוב מבחינה טכנית? המודול משתמש בחימום באמצעות אור אינפרא-אדום כדי ליצור שדה טמפרטורה אחיד, כך שהוופרים יקבלו אותו פרופיל טמפרטורה בכל פעם. בפועל, זה אומר יציבות בתהליך החימום, וכך התנהגות עקבית של הפוטורזיסט בכל סדרת ייצור. העיצוב של המודול מאפשר שימוש בו בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, על ידי שמירה על רמת חלקיקים נמוכה מאוד. פרופיל החימום מותאם כך שיעמוד בדרישות הטמפרטוריות של טכנולוגיות הליתוגרפיה המודרניות.
מה חשוב לדעת מראש? ההתקנה דורשת התאמה של דפוס הזרימה של האוויר ושל גאומטריית המערכת. אי-התאמה כזו תגרום לשינוי בשדה הטמפרטורה ולאי-אחידות. יש צורך בשלב של כיול של חלוקת החום, כדי שהמודול יפעל בצורה יעילה. לאחר ההתאמה, המודול מספק ביצועים יציבים – אך יש צורך להתחיל את ההתקנה עם ההתאמה המכנית הנכונה.