במחלקת הליתוגרפיה, לומדים מהר מאוד: שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינוי בממדים החשובים של הוואפר, וכתוצאה מכך הוואפר עלול להפוך לחסר תועלת. פיתחנו מחמם בעל דיוק גבוה, שמונע את זה – הוא שומר על אחידות טמפרטורית ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C, בין אם מדובר בחימום רגיל או חימום אינטנסיבי.
מה שחשוב באמת הוא שליטה, חזרתיות, ושמירה על ניקיון הסביבה.
המחמם משתמש באינפרא-אדום בגלי אורך קצר, כך שהוא יכול להגיב במהירות ובאופן חזרתי כדי לייצב את הטמפרטורה של הוואפר. רכיבי קוורץ וארכיטקטורה המתאימה לחדרים נקיים, מונעים את היווצרותם של חלקיקים, דבר שחיוני בסביבות מסוג Class 1–100. מערכות החישה והשליטה המשולבות מאפשרות שליטה בזמן אמת, כך שנקודות השליטה נשארות קבועות מלאגר ייצור אחד לאחר – גם כשמתח החשמל אינו יציב.
הטמפרטורה היא הגורם הישיר שקובע את קצב הסרת הממסים ואת תהליך הקשר בין הפולימרים בתהליך הליתוגרפיה.
המחמם שלנו שומר על טמפרטורה קבועה במהלך החימום הרגיל, כדי למנוע היווצרות של שכבות לא רצויות על הוואפר. לאחר מכן, הוא מבצע חימום אינטנסיבי, שמשפר את היציבות של הוואפר לפני החריטה. התוצאה היא שליטה טובה יותר בממדים של הוואפר, ופחות צורך בתיקונים. בנוסף, צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמערכת מגיעה לנקודת השליטה במהירות ושומרת עליה עם שינויים מינימליים.
כמה הערות פרקטיות לפני שתבחרו את המחמם המתאים:
ההתקנה דורשת אספקת חשמל ייעודית ומסוננת, וכן בידוד תרמי טוב, כדי שלא יהיה חיבור לתחנות אחרות. צפו לזמן התאמה קצר כדי להתאים את המחמם לתהליך הייצור שלכם. המחמם יכול לעבוד עם רוב הממשקים הקיימים, אך אם אתם משתמשים בפלטפורמות ישנות יותר, ייתכן שתצטרכו אדפטר מכאני מיוחד.