בתהליך הליתוגרפיה, אחידות הטמפרטורה במהלך החימום אינה דבר שניתן להתעלם ממנו – זו עובדה חיונית. שינוי של 1°C בטמפרטורה על פני הווה עלול לפגוע בשליטה ברמת הדיוק של התהליך, ולגרום לבעיות בחומר הפוטורזיסט. לכן, ייצרנו את החיממים שלנו כך שימנעו שינויים אלו במקורם.
מה חשוב מבחינה טכנית? האלמנטים של קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר מספקים חום מהיר וישיר לווה, כך שהטמפרטורה הרצויה מושגת תוך שניות בודדות. אחידות הטמפרטורה על פני הווה נשארת בטווח של ±0.1°C, והיציבות של הטמפרטורה נשמרת בטווחים צרים מאוד. גוף החימום מיועד לחדרים נקיים מסוג Class 1–100, עם חיבורים אטומים וללא חוטים חשופים, כדי למנוע יצירת חלקיקים בחדר. ההספק של החיממים נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החום.
תהליך הטיפול בחומר הפוטורזיסט אינו סובל שום טעויות בשליטה התרמית. חיממים אלו מאפשרים שליטה מדויקת בטמפרטורה, הן בתהליך החימום הרך והן בתהליך החימום הקשה. בנוסף, החיממים מתקררים במהירות, כך שזמן הטיפול קצר יותר. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהווה עצמו הוא זה שמחומם, ולא קירות התא. התוצאה היא פחות צורך בעבודות תיקון, רמת דיוק גבוהה יותר, וביצועים יציבים משעה לשעה.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה: יש להתאים את גאומטריית פתח החימום ואת מקורות האנרגיה. אנו מספקים שרטוטים ועקומות כיול כדי להקל על ההתקנה. יש לוודא שיש מערכת חשמלית מתאימה לחדרים נקיים, וכן לוודא שיש מרווחים מספיקים לצורך טיפול בווה. החיממים תואמים למערכות SECS/GEM, אך אם רוצים שליטה בטמפרטורה לפי תרשימים מסוימים, יהיה צורך בבקר מיוחד.