دیگر نیازی نیست منتظر کارکرد صحیح فرهای حرارتی باشید؛ چرا که تکنولوژی مادون قرمز در فرآیندهای نیمههادی، روش بهتری است.
هنوز هم شاهد استفاده زیاد از روشهای سنتی برای گرم کردن و خشک کردن مواد نیمههادی هستیم. این روشها قدیمی و معتبر هستند، اما روشهای آهستهای محسوب میشوند.
مشکل اینجاست که هوا در انتقال گرما عملکرد بسیار ضعیفی دارد؛ بنابراین برای گرم کردن مواد، نیاز به زمان زیادی است. این کار باعث هدر رفت انرژی زیادی میشود.
هزینه پنهان انتظار
روش استفاده از هوای گرم، مبتنی بر انتقال گرما از طریق هواست؛ این روش بسیار آهسته است. اما تکنولوژی مادون قرمز، نیازی به این انتقال غیرمستقیم ندارد؛ بلکه تشعشعات الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت ماده ارسال میکند.
در این روش، هیچ تأخیری در گرم شدن ماده وجود ندارد؛ زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر، از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. دیگر نیازی نیست منتظر باشید تا فنها هوای گرم را در اتاق پخش کنند؛ شما میتوانید بلافاصله به دمای مورد نظر برسید.
بازپس گرفتن فضای مورد نیاز
یکی دیگر از مزایای این روش این است که سیستمهای مادون قرمز، فضای کمتری را اشغال میکنند. شما میتوانید آن لولههای بزرگ و فنهای بزرگ را حذف کنید؛ در عوض، میتوانید از سیستمهای مادون قرمز استفاده کنید.
جالب اینجاست که میتوانید گرمایش را به صورت محلی انجام دهید؛ اگر یک نقطه روی ویفر نیاز به گرمای بیشتری داشته باشد، کافی است شدت نور در آن نقطه را تنظیم کنید. این کار را با استفاده از هوای گرم انجام دادن امکانپذیر نیست.
معایب این روش
البته، تکنولوژی مادون قرمز، راهحل جادویی برای همه موارد نیست. از آنجایی که گرمای زیادی به سطح ماده اعمال میشود، خطر سوختن لایه بالایی ماده وجود دارد. بنابراین باید موجدرازی مناسبی را انتخاب کنید؛ اگر موجدرازی مناسبی انتخاب نشود، انرژی از سطح ماده منعکس میشود و شما دوباره به نقطه شروع برمیگردید.
اما برای کارخانههایی که میخواهند تولید خود را افزایش دهند، این روش بهترین گزینه است. مهمترین چیز، کاهش زمان لازم برای گرم کردن ماده است؛ وقتی که ۶۰ درصد از زمان لازم برای گرم کردن ماده کاهش یابد، تولید کلی نیز افزایش مییابد. و بهتر از همه این است که برای این کار، نیازی به خرید دستگاههای بیشتر یا قرار دادن تجهیزات بیشتر در فضای کارخانه نیست.