در کف کارخانه
انحراف ۰.۳ درجه سانتیگراد در زمان پخت فوتورزست تنها به خطر انداختن مشخصات نیست؛ بلکه به طور کامل از آن عبور میکند. این یک نزدیک به عدم تصادف نیست؛ بلکه زباله است. ما راهحل حرارتی را برای واقعیت عدم تحمل در تولید نیمههادیها طراحی کردیم، جایی که بودجه حرارتی غیرقابل تغییر است و زمان تعطیلی غیرمنتظره به شما هزینه آغاز ویفرها را تحمیل میکند.
آنچه در زیر پوست مهم است
ما امیترهای مادون قرمز موج کوتاه را با مدیریت حرارتی مبتنی بر کوارتز ترکیب میکنیم تا یکنواختی در سطح ویفر را در ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح پخت حفظ کنیم. تکرارپذیری در هر چرخه در محدوده ۰.۰۵ درجه سانتیگراد باقی میماند، بنابراین پروفایلهای نرم و سخت پخت دقیقاً طبق دستورالعمل دنبال میشوند. سازگاری با اتاق تمیز در طراحی در نظر گرفته شده است: عملکرد کلاس ۱–۱۰۰ با تولید صفر ذره، که توسط نظارت بر ذرات در محل تأیید شده و از موادی که گاز نمیدهند، استفاده میشود. قابلیت اطمینان در تمام ساعات روز ناشی از اینرسی حرارتی کنترلشده، حسگرهای اضافی و طراحی است که نقطه تنظیم را حتی زمانی که ولتاژ اصلی تغییر میکند، حفظ میکند.
چرا این در لیتوگرافی کار میکند
در بخش لیتو، این دقت به شما CD پایدار، کاهش زبری لبه خط و تعداد کمتری از کارهای دوبارهکاری را میدهد. پنجره فرآیند باز میشود زیرا پروفایل حرارتی دیگر با شیمیایی فوتورزست مقابله نمیکند. همچنین مصرف انرژی را کاهش میدهید—به لطف کپلینگ NIR کارآمد و کنترل بسته تنگ—و تغییرات مصرفی را با عمر طولانی امیتر و نگهداری پیشبینیشده کاهش میدهید. پاداش بزرگ؟ بازدهی که به خوبی عمل میکند. همان دما، هر بار، شیفت به شیفت، ابزار به ابزار.
اینجا چیزی است که باید درست انجام دهید
ادغام به مطابقت دادن اندازه اتاقک، خروجی و خدمات بستگی دارد. ولتاژ، آمپر، خنککننده و جریان خروجی همه باید با بار حرارتی همراستا شوند. سیستم با اکثر رابطهای ریل همخوانی دارد، اما یک راهاندازی سریع سایت اطمینان میدهد که پروفایل پخت بهطور تمیز با لایه فوتورزست و لایه فیلم شما مطابقت دارد. برای تغییر جرم حرارتی زمانی که حاملها را عوض میکنید برنامهریزی کنید؛ ما روالهای کالیبراسیون را ارائه میدهیم تا یکنواختی پس از تغییر همچنان حفظ شود.