در سالن تولید، پخت فوتورزیست یک گرمکنش ساده نیست. این یک مرز سخت فرایندی است.
اگر دمای پخت نرم یا پخت سخت چند درجه اختلاف داشته باشد، کنترل ابعاد بحرانی شما از هم میپاشد. خط تولید شروع به رد کردن ویفرها میکند قبل از آنکه فرایند اچ حتی آنها را ببیند. به همین دلیل است که المنتهای حرارتی کوره وکیوم باید یکنواختی حرارتی را در سراسر محفظه، در کل دسته و هفته به هفته حفظ کنند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
ما این المنتهای حرارتی را برای رعایت دقیق نظم حرارتی در سطح کارخانه میسازیم. یکنواختی دما را در ناحیه داغ در محدوده ±0.1°C نگه میداریم تا هر ویفر در هر بار اجرا همان بودجه حرارتی را دریافت کند.
شما کنترل سریع و پایدار شیب افزایش دما برای پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت را خواهید داشت و تکرارپذیری که تغییرات درون دسته را محدود نگه میدارد. این المنتها آماده استفاده در اتاق تمیز کلاس 1 تا 100 هستند، با حداقل گازدهی و بدون تولید ذرات در شرایط کاری.
قابلیت اطمینان به معنای زمان کارکرد بالا است. ما طراحی را برای کارکرد 24/7 با بازههای نگهداری پیشبینی شده انجام میدهیم، نه توقفهای ناگهانی.
چرا این موضوع در لیتوگرافی اهمیت دارد
در لیتوگرافی، پخت جایی است که پروفایل رزیست تثبیت میشود. یکنواختی دقیقتر، ناهمواری لبه خطوط فوتورزیست را کاهش میدهد و دامنه دوز را افزایش میدهد. این مستقیماً به افزایش بازدهی مرحله اول منجر میشود.
تکرارپذیری بهتر همچنین زمان صلاحیت را کاهش داده و تعمیرات مجدد را کم میکند. کارایی سیستم حرارتی مصرف انرژی در طول تثبیت را کاهش میدهد، پس هزینههای عملیاتی پایین میآید بدون آنکه زمان چرخه افزایش یابد.
مواردی که باید در نظر داشت
این المنتها متناسب با پلتفرمهای استاندارد کوره وکیوم هستند، اما هندسه محفظه، بار جرمی و پروفایل پخت همه بر یکنواختی نهایی تأثیر میگذارند.
نصب باید با جرم حرارتی کوره و رفتار پمپداون آن هماهنگ باشد. با تنظیمات خاص فیکسچر و دستورالعملهای فرایندی خود راهاندازی کنید تا محدوده ±0.1°C تضمین شود.