
Hãy ngừng lãng phí năng lượng khi xử lý các tấm wafer
Khi xử lý các tấm wafer, mỗi watt năng lượng bị lãng phí thực chất là sự lãng phí tiền bạc – đồng thời cũng tạo ra nguy cơ nhiễm bẩn không cần thiết.
Hãy nghĩ về chiếc đèn dùng để xử lý wafer: nó phát ra năng lượng ở mọi hướng, 360 độ. Nhưng tấm wafer chỉ nằm ở một mặt thôi. Điều này có nghĩa là một nửa lượng năng lượng được sử dụng để làm nóng không khí phía sau đèn. Thật là lãng phí!
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng giúp thu hồi lại lượng năng lượng phát ra từ phía sau đèn và chiếu trở lại vào tấm wafer.
Tại sao lại chọn vàng?
Bạn có thể tự hỏi tại sao chúng tôi không chọn nhôm được đánh bóng. Vấn đề là nhôm hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại; nó không thể phản xạ năng lượng hiệu quả.
Vàng thì khác. Nó có khả năng phản xạ tốt cả sóng hồng ngoại dài và sóng hồng ngoại trung bình. Chúng tôi phủ một lớp mỏng vàng lên bề mặt cong của bộ phản xạ, để gần như toàn bộ lượng năng lượng đều chiếu trực tiếp vào tấm wafer. Nhờ đó, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, và chi phí năng lượng cũng giảm xuống.
Đưa nhiệt lượng vào đúng vị trí
Hình dạng của bộ phản xạ rất quan trọng. Chúng tôi sử dụng các đường cong hình parabol hoặc elip để tập trung năng lượng vào một điểm cụ thể. Điều này tạo ra vùng nhiệt độ cao, giúp quá trình xử lý diễn ra nhanh hơn.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: nếu bộ phản xạ bị trầy xước hoặc không đạt tiêu chuẩn, bạn sẽ gặp phải tình trạng “vùng lạnh”. Điều này dẫn đến việc xử lý wafer không đồng đều, và kết quả là wafer bị hỏng.
Một vài điều cần lưu ý
Vàng là chất liệu lý tưởng, nhưng nó lại mềm, dễ bị trầy xước. Nếu bạn sử dụng các chất tẩy rửa có tính ăn mòn, lớp phủ vàng sẽ bị hư hại. Những vết trầy xước này không chỉ làm mất thẩm mỹ mà còn khiến nhiệt lượng không được phản xạ mà bị hấp thụ. Điều này có thể khiến bộ phản xạ bị quá nhiệt.
Hãy đơn giản hóa mọi thứ: hãy đeo găng tay và sử dụng các chất tẩy rửa không gây phản ứng hóa học.
Những bộ phản xạ này được thiết kế để thay thế cho các bộ phản xạ hiện tại một cách dễ dàng. Chỉ cần đảm bảo rằng đèn được đặt ở vị trí chính xác. Nếu đèn bị lệch chút xíu, điểm tập trung năng lượng sẽ thay đổi, và bạn sẽ mất hết những lợi ích mà chúng tôi đã đề cập.