Hãy ngừng việc sưởi ấm toàn bộ máy móc lại, và thay vào đó hãy tập trung năng lượng vào việc làm nóng các tấm wafer thôi. Khi rửa các tấm wafer bán dẫn, chúng ta cần có nhiệt độ phù hợp. Nhưng vấn đề với hầu hết các thiết bị sưởi thông thường là chúng phát ra năng lượng vào mọi hướng. Điều này khiến cho các bức tường bên trong thiết bị trở thành những “khối bông” hấp thụ nhiệt. Do đó, bề mặt bên ngoài của thiết bị sẽ trở nên quá nóng, có thể gây bỏng cho người vận hành – điều này thật kinh khủng. Ngoài ra, chúng ta còn phải trả tiền điện để sưởi ấm những bộ phận kim loại không cần thiết.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bóng đèn hồng ngoại có khả năng chiếu sáng theo một hướng cụ thể. Bí quyết nằm ở việc tập trung năng lượng vào mục tiêu cần được làm nóng. Hãy tưởng tượng đây như sự khác biệt giữa bóng đèn thông thường và đèn pin: thay vì để nhiệt lan tỏa khắp nơi, các bóng đèn này sử dụng các tấm phản xạ và lớp phủ đặc biệt để đẩy năng lượng trực tiếp vào mục tiêu cần được làm nóng. Nhờ vậy, nhiệt chỉ tập trung vào bề mặt cần được làm nóng, còn bề mặt bên ngoài của thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ mát mẻ.
Các khu vực rửa wafer luôn ẩm ướt. Nếu sử dụng bóng đèn thông thường trong khu vực này, chúng sẽ nhanh chóng bị hỏng do ảnh hưởng của độ ẩm. Vì vậy, chúng tôi sử dụng các linh kiện chống nước và các kết nối đặc biệt để đảm bảo chúng hoạt động tốt trong môi trường ẩm ướt. Chúng tôi cũng xử lý các lớp vỏ bằng thạch anh sao cho chúng có thể chịu đựng được độ ẩm và các chất hóa học có trong môi trường sản xuất.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng việc tập trung năng lượng vào một diện tích nhỏ sẽ gây ra nguy cơ quá nhiệt cho vật liệu được xử lý. Bạn cần phải cẩn thận. Nếu vật liệu không thể chịu đựng được mức nhiệt cao như vậy, nó có thể bị biến dạng. Thời gian cũng rất quan trọng; nếu sai lệch vài giây thôi, bạn cũng có thể khiến wafer bị quá nhiệt. Vì vậy, bạn cần phải rất chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ.
Điều tuyệt vời nhất là sau khi thay đổi cách sử dụng thiết bị, bạn không cần phải chi tiền cho các quạt làm mát lớn nữa. Chi phí điện sẽ giảm đi, và môi trường làm việc sẽ an toàn hơn cho những người vận hành thiết bị.
Một lưu ý khi lắp đặt: hãy đảm bảo rằng việc căn chỉnh các bộ phận của thiết bị được thực hiện một cách chính xác. Nếu góc phản xạ của bóng đèn lệch 5 độ thôi, điểm nóng sẽ thay đổi. Lúc đó, nhiệt sẽ tập trung vào các bức tường của thiết bị thay vì wafer. Hãy dành thêm chút thời gian để căn chỉnh chúng một cách chính xác.