Bảo vệ các thiết bị sưởi trong phòng sạch (và giữ cho các wafer không bị hư hỏng)
Trong phòng sạch dùng để sản xuất linh kiện bán dẫn, không có chỗ cho sai sót nào cả. Khi chúng tôi chế tạo các thiết bị sưởi dùng trên các xe vận chuyển, chúng tôi không chỉ quan tâm đến việc nhiệt độ có đồng đều hay không; chúng tôi còn lo lắng về nguy cơ rò rỉ điện năng. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc sự hư hỏng nhỏ trong lớp cách điện thôi cũng đủ để làm hỏng toàn bộ số wafer, hoặc khiến công tắc ngắt mạch và khiến toàn bộ nhà máy ngừng hoạt động. Đó chắc chắn không phải là một ngày tốt đẹp gì cả.
Tại sao chúng tôi kiểm tra từng thiết bị một?
Chúng tôi không sử dụng phương pháp kiểm tra ngẫu nhiên. Điều đó quá rủi ro. Thay vào đó, mỗi bộ phận sưởi đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu điện áp cao và khả năng cách điện trước khi được đưa ra sử dụng. Về cơ bản, chúng tôi tạo ra môi trường thử nghiệm với điện áp cao hơn nhiều so với mức điện áp mà thiết bị sẽ phải chịu trong thực tế. Nếu có chút lỗ nhỏ nào trong lớp gốm hoặc vết nứt nhỏ nào trong lớp vỏ thạch anh, dòng điện sẽ chảy qua đó. Chúng tôi muốn phát hiện ra những lỗi này ngay trong phòng thí nghiệm, chứ không muốn bạn phát hiện ra chúng trong phòng sạch. Đó là cách duy nhất để đảm bảo rằng thiết bị sưởi được tách biệt hoàn toàn khỏi khung xe vận chuyển.
Những điều bạn cần biết về những hy sinh cần chấp nhận
Chúng tôi sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao để ngăn chặn hiện tượng thoát khí. Trong môi trường phòng sạch, điều này là điều hiển nhiên. Nhưng việc đảm bảo mức độ an toàn và độ tinh khiết cao như vậy đòi hỏi phải trả một cái giá về mặt kích thước của thiết bị. Các thiết bị này có kích thước lớn hơn so với các thiết bị sưởi thông thường. Để vượt qua các bài kiểm tra về khả năng cách điện, chúng tôi phải sử dụng lớp cách điện dày hơn, điều này khiến kích thước bộ phận sưởi tăng lên. Hãy kiểm tra kỹ các khung treo thiết bị. Bạn cần đảm bảo rằng chúng có kích thước phù hợp để mọi thứ có thể được lắp đặt một cách chặt chẽ.
Cách kết nối dây điện
Khi các thiết bị được giao đến, việc kết nối dây điện chính là bước cuối cùng. Bạn cần chú ý đến việc cấp nguồn một cách cẩn thận. Ngay cả sau khi đã qua các bài kiểm tra, nếu việc kết nối dây điện không được thực hiện đúng cách, toàn bộ công sức kiểm tra sẽ trở thành vô ích. Chúng tôi cung cấp sơ đồ kết nối rõ ràng để giúp bạn đảm bảo rằng thiết bị sưởi được tách biệt hoàn toàn khỏi các linh kiện điện tử khác. Điều này giúp ngăn chặn hiện tượng nhiễu điện từ, từ đó giữ cho dữ liệu của bạn luôn sạch sẽ.