Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật litography, việc đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trong quá trình sấy khô không phải là yếu tố tự nhiên cần có; đó là yếu tố quyết định chất lượng sản phẩm. Chỉ cần nhiệt độ trên wafer thay đổi 1°C thôi cũng đã có thể làm sai lệch việc kiểm soát độ dày lớp phủ hóa chất, từ đó gây ra các khiếm khuyết trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã thiết kế những lò sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ sự biến đổi nhiệt độ này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật:
Các linh kiện tia hồng ngoại bước sóng ngắn tạo ra nhiệt lượng nhanh chóng và trực tiếp lên wafer, giúp nhiệt độ đạt mức cần thiết chỉ trong vài giây. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ lặp lại của quy trình cũng được kiểm soát chặt chẽ. Thân lò được thiết kế dành cho các phòng sạch loại 1–100, với các mối nối kín và không có các sợi dây lộ ra ngoài, nhằm tránh việc tạo ra các hạt bụi trong phòng sạch. Công suất hoạt động của lò duy trì ổn định trong hơn 5.000 giờ, với độ biến đổi công suất dưới 5%.
Quy trình xử lý lớp phủ hóa chất rất nhạy cảm với việc kiểm soát nhiệt độ kém. Các lò sưởi bằng tia hồng ngoại của chúng tôi có thể điều chỉnh nhiệt độ phù hợp với cả quy trình sấy khô loại “mềm” và “cứng”. Sau đó, lò sẽ nhanh chóng làm mát, giúp rút ngắn thời gian xử lý và tăng năng suất sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì lò chỉ làm nóng chính wafer mà thôi, chứ không phải các bức tường của buồng sấy. Kết quả là số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, độ đồng đều của độ dày lớp phủ được đảm bảo, và hiệu suất xử lý luôn ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt:
Hãy đảm bảo rằng kích thước cổng kết nối của lò sưởi phù hợp với hệ thống cung cấp năng lượng. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kết nối và đường cong hiệu chuẩn để việc lắp đặt trở nên dễ dàng hơn. Hãy đảm bảo rằng hệ thống điện dùng để vận hành lò sưởi phù hợp với tiêu chuẩn của phòng sạch, và khoảng cách giữa các bộ phận của robot xử lý wafer cũng được kiểm soát chặt chẽ. Các lò sưởi này tương thích với các hệ thống SECS/GEM, nhưng nếu bạn muốn điều chỉnh nhiệt độ theo từng quy trình cụ thể thay vì sử dụng nhiệt độ cố định, bạn sẽ cần một bộ điều khiển riêng.