Trên dây chuyền sản xuất, khi chiếc đèn dùng trong quá trình in ấn ngừng hoạt động, không chỉ công cụ sử dụng để in ấn bị tắt, mà toàn bộ chu trình tạo hình thiết bị cũng bị gián đoạn. Khi hiệu suất của đèn giảm sút, các thông số liên quan đến quá trình xử lý vật liệu sẽ thay đổi, độ dày lớp phim cảm quang cũng thay đổi theo, và điều này khiến việc tái tạo sản phẩm trở nên khó khăn hơn. Các linh kiện thay thế cho đèn in ấn của ASML được thiết kế nhằm duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó đảm bảo các bước xử lý diễn ra đúng theo tiêu chuẩn yêu cầu.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi sử dụng các nguồn ánh sáng thuộc dải sóng ngắn và trung bình, sao cho chúng phù hợp với đặc tính hấp thụ ánh sáng của lớp phim cảm quang. Nhờ đó, chất lượng ánh sáng được duy trì ổn định trong khoảng từ 300 nm đến 1100 nm. Trên bề mặt wafer, độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C, và nhiệt độ có thể được điều chỉnh chính xác trong vài độ. Vỏ bọc bằng thạch anh và cấu trúc dây tóc được thiết kế đặc biệt giúp duy trì chất lượng ánh sáng ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức suy giảm chất lượng ánh sáng dưới 5%. Khả năng tương thích với môi trường phòng sạch loại 1–100 được đảm bảo nhờ việc sử dụng vật liệu ít phát ra khí và thiết kế giúp ngăn chặn sự ô nhiễm lên wafer.
Trong quá trình xử lý lớp phim cảm quang, bước phơi sáng nhẹ giúp loại bỏ các chất dung môi và thiết lập cấu trúc của lớp phim; bước phơi sáng mạnh giúp cố định cấu trúc của lớp phim trước khi tiến hành quá trình khắc hoặc cấy ghép. Các đèn của chúng tôi cung cấp chính xác dải ánh sáng cần thiết cho các bước xử lý này, mà không gây ra sai lệch hay giảm chất lượng ánh sáng. Kết quả là việc kiểm soát kích thước các chi tiết quan trọng trở nên chính xác hơn, giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa, và giúp lập kế hoạch thời gian sản xuất một cách dễ dàng hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng được kiểm soát tốt nhờ khả năng phản ứng nhiệt nhanh và hiệu quả trong việc cung cấp năng lượng. Thời gian sử dụng lâu dài của đèn giúp giảm thời gian ngừng máy không mong muốn.
Đây là một vài điều mà chúng ta cần lưu ý khi lắp đặt đèn: việc lắp đặt phải tuân thủ chính xác các thông số về độ căn chỉnh đèn và hệ thống làm mát. Độ ổn định của ánh sáng phụ thuộc vào điện áp ổn định và dòng chảy làm mát đều đặn; bất kỳ sự dao động nào cũng có thể làm thay đổi độ ổn định của ánh sáng. Hãy đảm bảo rằng loại kết nối, kích thước vỏ bọc và công suất đèn phù hợp với thông số kỹ thuật của máy ASML của bạn. Ngoài ra, hãy lên kế hoạch thay thế đèn trong các lần bảo trì định kỳ, để đảm bảo quá trình sản xuất diễn ra liên tục.