Trong quy trình sấy chất xúc tác, việc kiểm soát nhiệt độ không phải là một bước thủ tục đơn giản – đó là yếu tố quan trọng quyết định hiệu suất sản xuất. Các lò sấy dạng đối lưu gây ra sự chênh lệch nhiệt độ trên bề mặt wafer; điều này dẫn đến việc lượng chất xúc tác được phân bố không đồng đều, tạo ra những lỗ nhỏ trên bề mặt wafer, và gây ra các khiếm khuyết khi tiến hành quy trình ghép wafer lại với nhau.
Chúng tôi đã thiết kế thiết bị sấy dành riêng để giải quyết những vấn đề này: thiết bị hoạt động dựa trên ánh sáng hồng ngoại, có khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác, và được thiết kế dựa trên các nguyên tắc kiểm soát nhiệt tương tự như trong quy trình sấy phim quang hóa và quy trình in ấn.
Điều bạn cần hàng ngày chính là khả năng kiểm soát chính xác và có thể giám sát được quy trình sấy. Thiết bị này có thể đạt nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng nhờ ánh sáng hồng ngoại, không cần tiếp xúc trực tiếp với bề mặt wafer, và cho phép duy trì độ đồng đều nhiệt độ trong phạm vi ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Độ ổn định của nhiệt độ cũng được đảm bảo trong suốt quá trình hoạt động liên tục.
Thiết bị này phù hợp sử dụng trong môi trường phòng sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100. Các vật liệu và bộ phận kín được chọn lựa kỹ lưỡng để giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi trong quá trình hoạt động. Thiết bị này có thể hoạt động ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác, với cùng một mức nhiệt độ và chất lượng sản phẩm.
Lý do tại sao thiết bị này hiệu quả trong thực tế là vì nó giúp loại bỏ các yếu tố gây biến đổi trong quá trình sấy. Bạn sẽ có thời gian sấy nhanh hơn, chất xúc tác được sấy đồng đều hơn, và giảm bớt số lần phải làm lại sản phẩm. Mức tiêu thụ điện năng cũng giảm đi vì thiết bị chỉ làm nóng vật thể cần sấy, chứ không phải toàn bộ buồng sấy. Độ tin cậy của thiết bị được đảm bảo thông qua các khoảng thời gian bảo trì có thể lên kế hoạch trước, chứ không phải do những sự cố ngẫu nhiên.
Một điểm cần lưu ý: quá trình sấy bằng ánh sáng hồng ngoại yêu cầu phải kiểm tra kỹ lưỡng cấu trúc của thiết bị và việc căn chỉnh các bộ phận phản xạ ánh sáng, nhằm tránh tình trạng bóng tối xuất hiện trên bề mặt wafer. Chúng tôi cung cấp bộ công cụ kiểm tra bao gồm các bản đồ nhiệt độ, thông số về cường độ ánh sáng, cùng các bộ phận lắp đặt phù hợp với môi trường phòng sạch. Nhờ đó, kết quả sấy lần đầu tiên cũng sẽ đạt được các tiêu chuẩn mong muốn.