На поверхні пластинки температура 90°C є не просто числом – це ключовий параметр для контролю ширини ліній під час процесу нанесення фотолаку. Якщо температуру змінити на півградуса, то на виході будуть дефекти, які проявляються лише після обробки. Ми створили інфрачервону лампу для пристроїв Applied Materials, яка допомагає утримувати температуру на необхідному рівні.
Що є важливим з технічної точки зору
Це короткохвильове інфрачервоне світло, налаштоване так, щоб відповідати характеристикам поглинання фотолаку. Справжнім критерієм є теплова однорідність: ±0,1°C по всій поверхні пластинки під час процесу нагрівання. Цей показник вимірюється за допомогою каліброваних термопар у умовах потоку процесного газу, і він залишається стабільним протягом усього процесу нагрівання. Кварцовий корпус та керамічні елементи призначені для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100, без утворення частинок у стабільному режимі роботи.
Повторюваність результатів залишається в межах 1% протягом 5 000+ годин, тож один і той самий профіль лампи забезпечує стабільність ширини ліній зразок за зразком.
Чому це важливо
Пристрої Applied Materials працюють у суворо контрольованих температурних умовах, а процес обробки фотолаку чутливий до швидкості зміни температури та часу її утримання. Лампа може бути встановлена в існуючу камеру без зміни механічних елементів, а система контролю дозволяє швидко підтримувати температуру на необхідному рівні під час зміни газу чи відкривання дверей камери.
Це дозволяє зменшити кількість переробок, що підвищує якість продукції. Також економиться енергія, оскільки лампа нагрівається лише тоді, коли це необхідно. Коли температурний профіль залишається стабільним, можна не турбуватися про можливі зміни температури під час процесу нагрівання.
Практичні деталі
Лампа працює зі стандартними інтерфейсами живлення та керування від Applied Materials, але все одно необхідно перевірити точний тип роз’єму та спосіб кріплення відповідно до версії пристрою та конфігурації камери. Необхідно провести коротку перевірку для визначення залежності температури від параметрів пластинки та налаштувати потрібні значення. У чистих приміщеннях з високою вологістю необхідно забезпечити сухість ліній охолодження та належну вентиляцію; конденсат може призвести до зупинки процесу нагрівання. Після налаштувань лампу більше не потрібно калібрувати, окрім регулярної перевірки датчиків.