На виробничій лінії профіль температури всередині камери PECVD визначає якість утворюваної плівки. Як тільки емітер починає давати збої, це можна одразу помітити – страждає якість плівки, її однорідність за товщиною, а також кількість частинок у складі плівки. Ми розробили свій інфрачервоний емітер для нагріву в камерах PECVD, який відповідає вимогам сучасних технологій. Цей емітер є ефективною заміною для існуючого обладнання.
Суть цього пристрою полягає у використанні короткохвильового інфрачервоного випромінювання, яке спрямовується безпосередньо на кварц та сусцептор. Час реакції становить менше секунди, тож параметри регулюються швидко після відкриття дверей камери чи зміни параметрів процесу. Рівень однорідності температури на рівні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє зберігати правильні параметри процесу обробки фотополімерів та забезпечує контроль за їх якістю.
Цей пристрій підходить для використання в чистих кімнатах класу від 1 до 100. Він не створює жодних частинок пилу, а профіль випромінювання контролюється з точністю до 0,1 мкм. Ефективність пристрою забезпечується завдяки перетворенню енергії з опорного виду на радіаційний. У наших тестах емітер працює 24/7 без жодних перерв.
Перевагою цього пристрою є дотримання температурних параметрів та можливість повторного використання. Це дозволяє досягти більшої однорідності результатів обробки, зменшує кількість відхилень та дозволяє планувати час технічного обслуговування. Пристрій може бути встановлений у існуючі камери без необхідності повної переєкспертизи обладнання, тож ваш графік та процедури роботи залишаються незмінними.
Встановлення пристрою є простим, але температурні параметри та параметри випромінювання сусцептора мають відповідати характеристикам емітера. Після встановлення необхідно швидко перевірити профіль температури, задати потрібні параметри та переконатися у їх однорідності. Як тільки все налаштовано правильно, процес буде стабільним протягом усього часу роботи.