На поверхні плитки для літографії єдність температури під час процедури нагрівання є критично важливою. Якщо температура на поверхні плитки змінюється на 1°C, це може порушити контроль за розмірами структур на поверхні плитки та призвести до появи дефектів у фотополімерному шарі. Ми створили спеціальні нагрівачі для чистих приміщень, які дозволяють усунути ці коливання на початковому етапі.
Що є важливим з технічної точки зору:
Елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання передають тепло на поверхню плитки швидко та безпосередньо, тож значення температури стабілізується протягом кількох секунд. Єдність температури на поверхні плитки залишається в межах ±0,1°C, а повторюваність результатів – у заданих термічних рамках. Корпус нагрівача розроблений для чистих приміщень класу 1–100; він має герметичні з’єднання та не має видимих елементів, які могли б спричинити утворення частинок на поверхні плитки. Рівень потужності нагрівача залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, з відхиленням менше 5%.
Процес обробки фотополімерного шару не прощає недбалого контролю температури. Наші інфрачервоні нагрівачі забезпечують необхідний рівень температури як під час м’якого, так і під час жорсткого нагрівання. Крім того, вони швидко охолоджуються, що скорочує час виконання процедури та підвищує продуктивність. Витрати енергії зменшуються, оскільки нагрівається сама плитка, а не стінки камери. Переваги цих нагрівачів полягають у меншій кількості необхідних корекцій, більш точному контролі розмірів структур на поверхні плитки та стабільній продуктивності протягом усього часу роботи.
Що потрібно враховувати під час встановлення: необхідно підібрати геометрію входу нагрівача та спосіб подачі енергії. Ми надаємо креслення та криві калібрування для простого впровадження нагрівача. Також необхідно переконатися, що електричні кабелі відповідають вимогам чистих приміщень, а також перевірити відстань між нагрівачем та роботизованими пристроями для обробки плиток. Нагрівачі сумісні з пристроями типу SECS/GEM, але якщо потрібен контроль температури за заданими параметрами, а не за фіксованою температурою, буде потрібен окремий контролер.