Wafer sıcaklıklarını tahmin etmeyi bırakın
Eğer “Akıllı Fabrika” oluşturmaya çalışıyorsanız, sorunlar ortaya çıktıktan sonra bunlara müdahale etmenin ne kadar zor olduğunu muhtemelen fark etmişsinizdir. Şu an neler olduğunu görmek gerekiyor.
Ancak waferlerle ilgili bir sorun var: Yüzeye sadece bir termokupul yerleştiremezsiniz. Bu durumda tüm ürünler kirlenir veya wafer fiziksel olarak bozulur. Bu yüzden bu yöntem işe yaramaz.
İşte bu yüzden yüksek verimli kızılötesi sistemlerden yararlanıyoruz. Bu sensörler waferlere dokunmadan termal radyasyonu izler ve bunu dijital verilere dönüştürür. Böylece birkaç milisaniye içinde waferin tüm sıcaklık haritasını elde edebilirsiniz. Çok hızlı… Gerçekten çok hızlı.
Tek bir rakamın ötesine geçmek
Birçok kişi “dijitalleşme”nin sadece makinelere ekran koymak anlamına geldiğini düşünüyor. Öyle değil. Asıl mühim olan detaylardır.
Bir kızılötesi sensör size sadece ortalama sıcaklık değerini vermez; aynı zamanda mekansal bir harita da sağlar. Bunu PLC veya SCADA sistemlerine bağladığınızda, cihazın iç kısımlarının gerçek zamanlı sıcaklık haritasını görürsünüz.
İşte burada işler daha da ilginç hale geliyor. Kapalı döngülü bir sistem kurabilirsiniz. Eğer waferin kenarlarında soğuk noktalar oluşursa, sistem bunu hemen fark eder ve ısıtma elemanlarını anında ayarlar. Manuel ayarlama gerekmez, tahmin yapmaya da gerek yok.
Optiğin karmaşıklığı
Tabii ki her şey sihir değil. Yüksek hızlı kızılötesi algılama için net bir görüş alanı gereklidir. Eğer işlem kimyasalları mercek üzerinde birikirse, ölçümler yanlış olur. Bunun önüne geçmek için merceği temizleme işlemleri yapmalısınız veya merceği kirletmemek için koruyucu gaz kullanmalısınız. Eğer bunu yapmazsanız veriler yanlış olur ve tekrar tahmin yapmak zorunda kalırsınız.
Uyumu sağlamak
Aletlerin boyutlarının oldukça sınırlı olduğunu biliyoruz. Orada neredeyse hiç yer yok. Bu yüzden bu sistemleri oraya kolayca yerleştirebilecek şekilde tasarlıyoruz. Analog termal sinyalleri dijital paketlere dönüştürerek, yüksek voltajlı ortamlarda ortaya çıkan sinyal gürültülerini ortadan kaldırıyoruz. Bu sistemler, eski analog probların yerine kullanılabilir.
Ayrıca bu veriler, yapay zeka tabanlı verim analizleriyle de uyumlu çalışır. Waferlerin neden bozulduğunu merak etmek yerine, soruna neden olan tam sıcaklık gradyanını görebilirsiniz. Bu sayede tüm süreç çok daha az stresli hale gelir.