Litografi alanında hızlı bir şekilde öğrenilir: Fotoresistin pişirilmesi sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile kritik boyutların değişmesine ve ürünlerin işe yaramaz hale gelmesine neden olabilir. Bunun önüne geçmek için yüksek hassasiyetli bir ısıtıcı tasarladık; böylece hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme işlemleri sırasında waferin sıcaklık değerleri ±0,1°C aralığında sabit kalır.
Burada önemli olan şeyler basittir: Kontrol, tekrarlanabilirlik ve hatların temiz tutulması.
Isıtıcı, kısa dalga boyunda kızılötesi ışık kullanır; bu sayede waferin sıcaklık değerlerini hızlı ve tekrarlanabilir şekilde stabilize edebilir. Kuvars bileşenler ve temiz oda koşullarına uygun yapı sayesinde parçacık oluşumu sıfıra indirilir; bu da Class 1–100 ortamları için gereklidir. Entegre sensörler ve kontrol sistemleri sayesinde ayarlar gerçek zamanlı olarak sabitlenir; böylece fotoresist işlemleri için belirlenen değerler her parti için tutarlı kalır – hatta hat voltajı değişse bile.
Sıcaklık, litografide çözücünün uzaklaştırılmasını ve polimerlerin birbirine bağlanmasını doğrudan kontrol eden parametredir.
Isıtıcımız, yumuşak pişirme işlemiyle artıkları ve kötü katmanları ortadan kaldırır; ardından da aşındırma işleminden önce yapışmayı artıran sert pişirme işlemi yapılır. Böylece daha iyi bir CD kontrolü elde edilir ve yeniden işlemlere gerek kalmaz. Ayrıca, sistem hızlı bir şekilde ayar noktasına ulaşır ve minimum sapma ile orada kalır; bu da enerji tüketimini azaltır.
Özellikleri belirlemeden önce dikkate alınması gereken birkaç pratik nokta var.
Montaj için özel bir güç kaynağı ve uygun termal izolasyon gereklidir; böylece komşu istasyonlara etki edilmez. Fotoresist işlemleri için gerekli ayarların yapılması için kısa bir kurulum süresi gerekecektir. Bu cihaz çoğu arayüzle çalışır; ancak eski platformlarla entegrasyon yapılıyorsa özel bir mekanik adaptör gerekebilir.