Waferin bulunduğu alanda 90°C’de yapılan yumuşak pişirme işlemi sadece bir sıcaklık değildir; aynı zamanda hat genişliğini kontrol etmek için gerekli olan termal koşulları da ifade eder. Fotoresist çözücülerinin etkisini yarım derece kadar azaltmak, baskı sırasında hatalara yol açar ve bu hatalar ancak geliştirme işleminden sonra ortaya çıkar. Applied Materials’ın ekipmanları için bu tür sapmaları en aza indirmek amacıyla kızılötesi lambalar geliştirdik.
Teknik olarak önemli olan şeyler
Kullanılan kızılötesi ışınlar, kullanılan fotoresist malzemelerinin emilim özelliklerine uygun şekilde ayarlanmıştır. Asıl önemli olan nokta ise, pişirme sırasında wafer yüzeyindeki sıcaklık düzgünlüğüdür: ±0,1°C aralığında olmalıdır. Bu değerler broşürlerde yazılı olanlardan farklıdır; bunlar, işlem gazı akışı altında kalibre edilmiş termokupllarla ölçülür ve tüm pişirme süreci boyunca sabit kalır. Kuvars kaplamalar ve seramik parçalar, Class 1–100 standartlarında çalışabilmek üzere tasarlanmıştır ve sabit duruma geldiğinde hiçbir parça üretilmez. 5.000 saatten fazla kullanımda bile çıkış tekrarlanabilirliği %1’in altında kalır; böylece aynı lamba profili sayesinde her parti için hat genişliği sabit kalır.
Neden bu sistem burada kullanılır?
Applied Materials’ın ekipmanları çok hassas termal döngüler içinde çalışır ve fotoresist işlemleri, ısınma hızına ve süresine son derece duyarlıdır. Lamba, mekanik arayüzü değiştirmeden mevcut odalara yerleştirilebilir ve kontrol sistemi, gaz değişiklikleri veya kapı açılıp kapanması sırasında sıcaklığı sabit tutacak kadar hızlıdır. Böylece yeniden işlemler azalır, verimlilik artar ve lamba gerektiğinde ısındığı için enerji tüketimi düşer. Termal profil stabil kaldığında işlem süreci daha rahat ilerler ve ölçüm kayıtlarında sıcaklık sapmalarını takip etmeye gerek kalmaz.
Pratik detaylar
Lamba, standart Applied Materials güç ve kontrol bağlantılarıyla çalışır; ancak kullanılan cihazın versiyonuna ve odanın yapısına göre doğru konektör ve montaj braketlerinin kullanılması gerekmektedir. Sıcaklığı waferinizle eşleştirmek için kısa bir test yapın ve ayar noktasını belirleyin. Yüksek nemli temiz odalarda soğutma hatlarının kuru tutulması ve havalandırılması gerekmektedir; aksi takdirde yoğuşma nedeniyle sistem durur. Ayarlandıktan sonra, cihazın yeniden kalibrasyona ihtiyacı yoktur; sadece rutin sensör kontrolleri yeterlidir.