Litografi işlemlerinde, yumuşak fırınlama sırasındaki sıcaklık uniformitesi sadece arzu edilen bir özellik değildir; bu bir verimlilik kriteridir. Wafer üzerindeki 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, CD kontrolünü bozar ve fotoresistte kusurların oluşmasına neden olur. Bu tür değişkenlikleri kaynağında ortadan kaldırmak için temiz oda tipi IR ısıtıcılar geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar, wafer’e hızlı ve doğrudan ısı aktarımı sağlar; böylece ayarlanan sıcaklık birkaç saniye içinde sabitlenir. Fırınlama bölgesinde wafer yüzeyindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında kalır ve tekrarlanabilirlik de sıkı termal sınırlar içinde tutulur. Isıtıcılar, Partikül üretimini engellemek için kapalı bağlantılara sahip olup, açık filamentlere sahip değildir. Isıtıcıların verimi 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Fotoresist işlemlerinde düzensiz termal kontrol kabul edilemez. IR ısıtıcılarımız, hem yumuşak hem de sert fırınlamalar için gerekli olan sıcaklık profillerini sağlar ve ardından hızla soğur; böylece işlem süresi azalır ve verimlilik artar. Enerji tüketimi de azalır, çünkü ısıtma işlemi waferin kendisine uygulanır, odanın duvarlarına değil. Bunun sonucunda daha az yeniden işleme gereksinimi, daha düzgün CD dağılımı ve vardiya ardına vardiya güvenilir fırınlama performansı elde edilir.
Montaj sırasında dikkat edilmesi gerekenler: Fırının port geometrisini ve güç beslemesini uyumlu hale getirin. Entegrasyonu kolaylaştırmak için arayüz çizimleri ve kalibrasyon eğrileri sağlıyoruz. Temiz oda standartlarına uygun elektriksel bağlantılara sahip olduğunuzdan emin olun ve wafer işleme robotlarının hareket alanlarını kontrol edin. İşiticiler SECS/GEM cihazlarıyla uyumludur; ancak sabit sıcaklık yerine reçete tabanlı fırınlama profilleri istiyorsanız, özel bir kontrol cihazına ihtiyacınız olacaktır.