Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen termal değişiklikler teorik bir durum değildir; bu, gerçekten hissedilebilen bir verimlilik kaybıdır. Eğer sıcak hava akışı, waferin sıcaklığını ±0,1°C aralığında tutamazsa, kritik boyutlar değişir ve üretim süreci gün be gün aynı hatalarla uğraşmak zorunda kalır. Biz de bu tür değişiklikleri en baştan engellemek için, ısı dağıtımını tekrarlanabilir ve sıkı bir şekilde kontrol edilebilir hale getiren bir klima ısıtıcı modülü geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Bu modül, milimetre-altı düzeyinde homojen bir termal alan oluşturmak için yakın kızılötesi (NIR) ısıtma teknolojisini kullanır. Böylece waferler her seferinde aynı sıcaklık profiline sahip olur. Pratikte bu, yumuşak ve sert ısıtma işlemlerinin stabilitesini sağlar ve fotoresistin davranışlarının her parti için tutarlı kalmasını sağlar. Tasarım, parça üretimi sırasında partikül üretimini neredeyse sıfıra indirerek Class 1–100 temiz odalarıyla uyumlu olacak şekilde yapılmıştır. Ayrıca ısıtıcı profilinin, modern litografi ve entegrasyon süreçlerinin termal gereksinimlerini karşılayacak şekilde tasarlandığından emin olunmuştur.
Önemli olan şudur: Isı, bir değişken olarak değil, bir süreç parametresi olarak davranmalıdır. Bu modül, hava akışı ve çalışma süresi değişse bile sıcaklığı sabit tutar. Bu sayede atık miktarı azalır, yeniden işleme gerekliliği düşer ve kalifikasyon süreçleri kısalır. Enerji tüketimi de azalır; çünkü sistem yalnızca ihtiyaç duyulan yerde ve zamanda ısıtma yapar. Güvenilirlik ise, bileşenler üzerindeki termal stresi azaltan ve planlanmamış duruşları ortadan kaldıran düzenli ve tekrarlanabilir bir termal profilden kaynaklanır.
Önceden bilmemeniz gerekenler Montaj işlemi, hedeflenen AHU’nun hava akış desenleri ve geometrisiyle uyumlu olacak şekilde yapılmalıdır. Uyumsuz boru hatları, sıcaklık alanını değiştirerek homojenliği bozar. NIR gücünün dağılımını, belirli bir temiz oda koşulu için ayarlamak için bir ayarlama adımı gereklidir. Doğru şekilde ayarlandığında modül istikrarlı bir performans sergiler; ancak işe doğru mekanik uyumla başlamak gerekir.