เลิกเดาอุณหภูมิของวาเฟอร์ได้แล้ว
หากคุณกำลังพยายามสร้างโรงงานผลิตที่มีประสิทธิภาพสูง คุณคงรู้ดีว่าการแก้ปัญหาหลังจากที่มันเกิดขึ้นแล้วนั้นเป็นเรื่องที่ยากมาก คุณจำเป็นต้องรู้ว่าเกิดอะไรขึ้นในตอนนี้จริงๆ
แต่ปัญหาก็คือ เราไม่สามารถติดตั้งเซ็นเซอร์อุณหภูมิไว้บนวาเฟอร์ได้โดยตรง เพราะจะทำให้วาเฟอร์เสียหายหรือมีความบกพร่องได้ ดังนั้นเราจึงใช้ระบบอินฟราเรดที่มีประสิทธิภาพสูงแทน โดยเซ็นเซอร์เหล่านี้จะ “สังเกต” รังสีความร้อนและแปลงมันให้เป็นข้อมูลดิจิทัล คุณจะได้ข้อมูลอุณหภูมิทั้งหมดของวาเฟอร์ภายในเวลาเพียงไม่กี่มิลลิวินาทีเท่านั้น นั่นคือความเร็วที่สูงมาก
มากกว่าแค่ตัวเลขเดียว
หลายคนคิดว่า “การเปลี่ยนมาใช้ระบบดิจิทัล” ก็คือการติดหน้าจอไว้บนเครื่องจักรเท่านั้น แต่ไม่ใช่เลย มันคือเรื่องของรายละเอียดต่างๆ
เซ็นเซอร์อินฟราเรดไม่ได้ให้ข้อมูลอุณหภูมิเฉลี่ยเพียงอย่างเดียว แต่ยังให้ข้อมูลเกี่ยวกับตำแหน่งที่แน่นอนอีกด้วย เมื่อนำข้อมูลเหล่านี้มาใช้กับระบบ PLC หรือ SCADA คุณก็จะได้ข้อมูลอุณหภูมิแบบเรียลไทม์ของเครื่องจักร
นี่แหละคือจุดที่น่าสนใจ คุณสามารถสร้างระบบแบบปิดได้ หากมีจุดที่มีอุณหภูมิต่ำเกิดขึ้นที่ขอบวาเฟอร์ ระบบก็จะตรวจจับได้ทันทีและปรับการทำงานของอุปกรณ์ทำความร้อนทันที ไม่จำเป็นต้องปรับแต่งด้วยมือหรือเดาอีกต่อไป
ความยุ่งยากของระบบออปติกส์
แต่ก็ไม่ใช่ว่าทุกอย่างจะสมบูรณ์แบบเสมอไป การใช้เซ็นเซอร์อินฟราเรดความเร็วสูงนั้นต้องมีสภาพการมองเห็นที่ชัดเจนด้วย
หากมีสารเคมีต่างๆ เกาะอยู่บนเลนส์ ข้อมูลอุณหภูมิก็จะผิดเพี้ยนไป ดังนั้นคุณจำเป็นต้องมีระบบทำความสะอาดเลนส์ หรือใช้ก๊าซป้องกันเพื่อรักษาความสะอาดของเลนส์ หากคุณไม่ทำเช่นนี้ ข้อมูลอุณหภูมิก็จะผิดเพี้ยน และคุณก็ต้องกลับมาเดาอีกครั้ง
การปรับให้เหมาะสม
เรารู้ดีว่าพื้นที่ภายในเครื่องจักรนั้นมีจำกัดมาก ดังนั้นเราจึงออกแบบระบบเหล่านี้ให้สามารถติดตั้งได้ง่าย โดยการแปลงสัญญาณอุณหภูมิแบบอะนาล็อกให้เป็นข้อมูลดิจิทัล เราก็สามารถกำจัดสัญญาณรบกวนที่มักเกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันสูงได้ นั่นคือการแทนที่เซ็นเซอร์แบบอะนาล็อกเก่าๆ ได้อย่างสมบูรณ์
นอกจากนี้ ข้อมูลดิจิทัลเหล่านี้ยังสามารถนำมาใช้ร่วมกับระบบวิเคราะห์ประสิทธิภาพด้วย AI ได้อีกด้วย คุณจะสามารถเห็นสาเหตุที่ทำให้วาเฟอร์เสียหายได้อย่างชัดเจน ทำให้กระบวนการผลิตสะดวกขึ้นมาก