บนพื้นผิวของแผ่นวัสดุ การอบที่อุณหภูมิ 90°C ไม่ใช่เพียงแค่ค่าอุณหภูมิเท่านั้น แต่ยังเป็นตัวกำหนดขีดจำกัดทางความร้อนสำหรับการควบคุมความกว้างของเส้นลวดอีกด้วย หากอุณหภูมิในการอบเพิ่มขึ้นอีกครึ่งองศา ก็จะทำให้เกิดข้อบกพร่องในการพิมพ์ ซึ่งจะปรากฏให้เห็นก็ต่อเมื่อผ่านขั้นตอนการพัฒนาสีเท่านั้น เราจึงสร้างหลอดไฟอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อช่วยควบคุมอุณหภูมิให้คงที่
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิคคืออะไร? ก็คือแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งถูกปรับให้เข้ากับคุณสมบัติการดูดซับของวัสดุที่ใช้ในการพิมพ์ ค่าที่สำคัญจริงๆ คือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ซึ่งควรอยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวของแผ่นวัสดุในช่วงการอบ
นี่ไม่ใช่ค่าที่ระบุไว้ในคู่มือเท่านั้น แต่เป็นค่าที่วัดได้จริงโดยใช้เทอร์โมคัปเปิลที่มีความแม่นยำ และค่านี้จะคงที่ตลอดช่วงการอบ ส่วนตัวเรือนหลอดไฟที่ทำจากควอตซ์และเซรามิกนั้นเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาด โดยออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ในระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เมื่ออยู่ในสภาวะสมดุล
ความสามารถในการทำซ้ำผลลัพธ์อยู่ที่ 1% ภายใน 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป ดังนั้นโปรไฟล์ของหลอดไฟก็จะช่วยให้ความกว้างของเส้นลวดคงที่ได้ในทุกๆ ครั้งที่มีการผลิต
ทำไมมันถึงมีบทบาทสำคัญ? เครื่องมือของ Applied Materials มีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำมาก และกระบวนการประมวลผลวัสดุก็มีความไวต่ออัตราการเพิ่ม/ลดอุณหภูมิ หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้โดยไม่ต้องเปลี่ยนแปลงอินเทอร์เฟซทางกล และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วในช่วงที่มีการเปลี่ยนแปลงก๊าซหรือเมื่อมีการเปิด/ปิดประตูห้อง
ด้วยวิธีนี้ จะช่วยลดจำนวนการผลิตซ้ำ ทำให้อัตราการผลิตดีขึ้น และยังช่วยประหยัดพลังงานอีกด้วย เพราะหลอดไฟจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น ไม่ต้องทำงานตลอดเวลา เมื่ออุณหภูมิคงที่ ก็จะไม่มีปัญหาเรื่องการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอีกต่อไป
รายละเอียดทางปฏิบัติ หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับระบบไฟฟ้าและระบบควบคุมมาตรฐานของ Applied Materials แต่คุณยังจำเป็นต้องตรวจสอบข้อมูลเกี่ยวกับตัวเชื่อมต่อและชุดยึดหลอดไฟให้ถูกต้องตามรุ่นของเครื่องมือและการติดตั้งในห้อง
ควรทำการทดสอบสั้นๆ เพื่อตรวจสอบความสัมพันธ์ระหว่างอุณหภูมิกับแผ่นวัสดุ และกำหนดค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมไว้ ในห้องสะอาดที่มีความชื้นสูง ควรรักษาท่อน้ำที่ใช้ลดอุณหภูมิให้แห้ง และมีระบบระบายอากาศที่ดี เพราะน้ำค้างจะทำให้ระบบหยุดทำงาน หลังจากปรับค่าอุณหภูมิแล้ว ก็ไม่จำเป็นต้องปรับค่าใดๆ เพิ่มเติมอีก นอกจากการตรวจสอบเซ็นเซอร์ตามปกติเท่านั้น.