ในกระบวนการลิโธกราฟี คุณจะเรียนรู้ได้อย่างรวดเร็ว: แม้ว่าจะมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาขณะอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้มิติสำคัญเปลี่ยนแปลงไป และทำให้วัสดุเสียหายได้ เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนที่มีความแม่นยำสูงขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดสิ่งนี้ขึ้น โดยช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ไม่ว่าจะเป็นขั้นตอนการอบแบบอ่อนหรือแบบแข็งก็ตาม
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ก็คือการควบคุม ความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ และการรักษาความสะอาดของกระบวนการผลิต
เครื่องทำความร้อนนี้ใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของวัสดุ ส่วนองค์ประกอบที่ทำจากควอตซ์และโครงสร้างที่เหมาะสมกับห้องสะอาด ช่วยให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 นอกจากนี้ ระบบตรวจจับและควบคุมแบบอัตโนมัติยังช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในทุกครั้งที่มีการประมวลผลวัสดุโฟโตรีซิสต์ แม้ว่าแรงดันไฟฟ้าจะไม่คงที่ก็ตาม
อุณหภูมิเป็นตัวกำหนดโดยตรงต่อกระบวนการกำจัดสารละลายและการเชื่อมโยงโมเลกุลของโพลิเมอร์ในกระบวนการลิโธกราฟี
เครื่องทำความร้อนของเราช่วยรักษาอุณหภูมิในขั้นตอนการอบแบบอ่อน เพื่อกำจัดสิ่งสกปรกออกไป จากนั้นจึงทำการอบแบบแข็งเพื่อเพิ่มความแข็งแรงของวัสดุก่อนการขัดถู สิ่งที่ได้รับก็คือการควบคุมมิติของวัสดุได้ดีขึ้น และลดการต้องทำงานซ้ำลง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะระบบสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและคงที่
มีข้อควรระวังอีกสองข้อก่อนที่คุณจะเลือกใช้เครื่องนี้ นั่นคือ การติดตั้งต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม พร้อมระบบกันความร้อนที่ดี เพื่อไม่ให้อุณหภูมิส่งผลกระทบต่อสถานีอื่นๆ นอกจากนี้ ยังต้องใช้เวลาสักพักในการปรับแต่งเครื่องให้เหมาะสมกับวัสดุโฟโตรีซิสต์ที่คุณใช้ โดยทั่วไปแล้ว เครื่องนี้สามารถใช้งานกับอินเทอร์เฟซต่างๆ ได้ แต่หากคุณต้องการเชื่อมต่อกับแพลตฟอร์มเก่าๆ คุณอาจจำเป็นต้องใช้อุปกรณ์ปรับแต่งเฉพาะด้วย