ในห้องผลิต โปรไฟล์อุณหภูมิภายในเครื่อง PECVD คือตัวกำหนดคุณภาพของฟิล์มที่เกิดขึ้น หากตัวส่งความร้อนเริ่มมีปัญหา ก็จะสามารถรู้ได้ทันที ไม่ว่าจะเป็นความเครียดของฟิล์ม ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม หรือจำนวนอนุภาคต่างๆ เราได้ออกแบบตัวส่งความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับเครื่อง PECVD ให้เหมาะสมกับข้อกำหนดด้านอุณหภูมิในปัจจุบัน และมันก็สามารถใช้แทนอุปกรณ์รุ่นเก่าได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ส่วนสำคัญของตัวส่งความร้อนนี้คือคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งช่วยให้ความร้อนถูกส่งตรงไปยังโครเมียมและส่วนที่รับความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ การตอบสนองของตัวส่งความร้อนนั้นเกิดขึ้นในเวลาไม่กี่วินาที ดังนั้นค่าอุณหภูมิจึงสามารถกลับสู่สภาวะปกติได้อย่างรวดเร็วหลังจากที่ประตูเปิดหรือมีการเปลี่ยนแปลงสูตรการผลิต ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับวีเวอร์นั้นอยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการปรับอุณหภูมิของฟิล์มเป็นไปอย่างถูกต้อง และช่วยรักษาความแม่นยำในการควบคุมความหนาของฟิล์มได้
ตัวส่งความร้อนนี้สามารถใช้ได้ในห้องผลิตที่มีมาตรฐานตั้งแต่ Class 1 ถึง Class 100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ และโปรไฟล์การส่งความร้อนนั้นมีความแม่นยำถึงระดับ 0.1 ไมโครเมตร ประสิทธิภาพของตัวส่งความร้อนนี้มาจากการแปลงพลังงานจากรูปแบบการส่งความร้อนแบบต้านทานมาเป็นรูปแบบการส่งความร้อนแบบรังสี ในการใช้งานจริง ตัวส่งความร้อนนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีเวลาหยุดทำงานเลย
สิ่งที่ทำให้ตัวส่งความร้อนนี้เหมาะสมสำหรับการใช้ในเครื่อง PECVD ก็คือความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิและความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิต ซึ่งช่วยให้ได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูง ลดปริมาณวีเวอร์ที่ต้องทิ้ง และช่วยให้สามารถวางแผนเวลาการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ ตัวส่งความร้อนนี้ยังสามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่อง PECVD รุ่นเก่าได้โดยไม่จำเป็นต้องมีการปรับแต่งระบบใหม่ทั้งหมด ดังนั้นตารางเวลาการผลิตและขั้นตอนการดำเนินงานก็ยังคงเหมือนเดิม
การติดตั้งตัวส่งความร้อนนี้นั้นทำได้ง่าย แต่ต้องมั่นใจว่าค่าความสามารถในการส่งความร้อนของตัวส่งความร้อนและส่วนที่รับความร้อนนั้นสอดคล้องกับค่าที่ตัวส่งความร้อนสามารถส่งออกมาได้ ควรมีการตรวจสอบโปรไฟล์อุณหภูมิหลังจากการติดตั้งเสร็จ เพื่อให้แน่ใจว่าค่าอุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด หลังจากนั้นกระบวนการผลิตก็จะสามารถดำเนินต่อไปได้อย่างมีเสถียรภาพ