Op de productielijn is een verschil van 0,1°C tijdens het zachte of harde drogen voldoende om problemen te veroorzaken, zoals oneffenheden op het oppervlak van de chip en een lagere opbrengst. Conventionele drogers kunnen geen rekening houden met verschillen in temperatuur tussen de verschillende delen van de chip, evenals met plotselinge veranderingen in temperaturen. We hebben deze chipdroger ontworpen om deze onzekerheden uit te sluiten.
Wat belangrijk is in de technische specificaties We behouden een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C door gebruik te maken van kortegolf-infraroodemitters in een kamercel die is geïsoleerd met kwarts. Hierdoor wordt warmte overgedragen zonder dat er deeltjes vrijkomen. Het systeem werkt in schone ruimtes van klasse 1–100. We controleren of er geen deeltjes worden gegenereerd, door middel van continue monitoring. De parameters rondom het drogen van de fotorezyst blijven constant, met een stabiliteit van ±0,2°C. Hierdoor blijven ook de belangrijke afmetingen en de vorm van de chip consistent. De heaterarchitectuur zorgt ervoor dat de temperatuur van het substraat niet wordt beïnvloed door externe factoren. Hierdoor krijgt elke batch dezelfde thermische omstandigheden.
Waarom dit geschikt is voor het litografieproces Bij litografie en het verwerken van fotorezyst heeft de droger invloed op de dikte van de lijnen, de hechting van het materiaal en de hoeveelheid resterende oplossing. Een hoge uniformiteit zorgt voor minder herwerkzaamheden en minder problemen. De compatibiliteit met schone ruimtes en het gebrek aan deeltjes zorgen voor minder defecten. Bovendien blijft de productiecontinu, zonder onverwachte stoppen. Hierdoor kan de productielijn blijven draaien. De energieverbruik neemt af, omdat de emitters snel reageren en op lage vermogens werken zonder dat er problemen optreden. Het resultaat is stabiele processen, minder afwijkingen en betrouwbare ciclustijden.
Wat nodig is bij de installatie De apparatuur heeft een gespecialiseerde, gefilterde stroomvoorziening en een zuurstofzuiveringssysteem nodig, zodat de prestaties op volledige temperatuur behouden blijven. De integratie in bestaande systemen is eenvoudig, maar het is belangrijk om de thermische eigenschappen en de positie van de connectoren aan te passen aan de bestaande apparatuur, zodat er geen mechanische interferentie optreedt. Plan een korte testrun om de instellingen vast te stellen. Eenmaal ingesteld, blijven de parameters constant, ongeacht wanneer of welke batches worden verwerkt.