Role
Anda adalah penterjemah pakar tempatan asli untuk bahasa sasaran Malay, dengan latar belakang profesional yang kukuh dalam pembuatan industri dan kejuruteraan elektromekanikal.
Tugas
Terjemahkan artikel teknikal industri yang diberikan ke dalam bahasa Melayu dengan tahap ketepatan profesional tertinggi.
Input Text
Di lantai fab, perubahan suhu 0.3°C semasa proses pembakaran fotoresist bukan sahaja merisikokan spesifikasi—ia melangkauinya. Ini bukan hampir terlepas; ia adalah kerugian. Kami membina penyelesaian pemanasan untuk realiti toleransi sifar dalam pembuatan semikonduktor, di mana bajet terma ditetapkan dengan tegas dan masa henti yang tidak dirancang akan menjejaskan permulaan wafer anda. Apa yang penting di bawah hud Kami memadankan pemancar inframerah gelombang pendek dengan pengurusan terma berasaskan kuarza untuk mengekalkan keseragaman tahap wafer pada ±0.1°C di seluruh permukaan pembakaran. Kebolehulangan kitaran ke kitaran kekal dalam ±0.05°C, jadi profil bakaran lembut dan bakaran keras mengikuti resipi dengan tepat. Keserasian bilik bersih adalah sebahagian daripada reka bentuk: operasi Kelas 1–100 dengan tiada penghasilan zarah, disahkan melalui pemantauan zarah in-situ dan bahan yang tidak mengeluarkan gas. Kebolehpercayaan sepanjang masa datang dari inersia terma terkawal, pengesanan berlebihan, dan reka bentuk yang mengekalkan setpoint walaupun voltan utama berubah-ubah. Mengapa ini berkesan dalam litografi Di ruang litografi, ketepatan itu memberi anda kestabilan CD, pengurangan kekasaran tepi garisan, dan pengurangan hasil semula. Tetingkap proses terbuka kerana profil terma tidak lagi bertentangan dengan kimia resist. Anda juga menjimatkan penggunaan tenaga—terima kasih kepada penyaluran NIR yang cekap dan kawalan gelung tertutup yang ketat—dan mengurangkan pertukaran bahan habis guna dengan hayat pemancar yang panjang dan penyelenggaraan yang boleh diramalkan. Keuntungan utama? Hasil yang konsisten. Suhu sama, setiap masa, dari syif ke syif, daripada alat ke alat. Inilah perkara yang anda perlu tepat Integrasi bergantung pada penyamaan tapak ruang, ekzos, dan utiliti. Voltan, arus, penyejuk, dan aliran ekzos semua mesti sejajar dengan beban terma. Sistem ini sesuai dengan kebanyakan antara muka trek, tetapi pemasangan cepat di tapak memastikan profil pembakaran sesuai dengan tepat kepada timbunan resist dan timbunan filem anda. Rancang untuk peralihan jisim terma apabila menukar pembawa; kami menyediakan rutin kalibrasi supaya keseragaman kekal selepas pertukaran.