Nella sala di produzione, una variazione di temperatura di 0,1°C durante il processo di essiccazione è sufficiente per causare problemi legati alla qualità dei wafer: possono formarsi impurità e la resa del prodotto ne risente. I tradizionali essiccatori non riescono a gestire le variazioni di temperatura tra le diverse aree del wafer, né i picchi di temperatura che si verificano subito dopo i processi termici. Abbiamo progettato questo essiccatore apposta per eliminare tali problemi.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Riusciamo a mantenere un’omogeneità termica del wafer entro i ±0,1°C, utilizzando emettitori a infrarosso a breve lunghezza d’onda all’interno di una camera isolata in quarzo. In questo modo, il calore viene trasmesso senza che si generino particelle. Il sistema funziona in ambienti puliti di classe 1–100; inoltre, grazie al monitoraggio in tempo reale, possiamo garantire che non vengano generate particelle. I profili di essiccazione del fotoresist sono sempre precisi, con una stabilità della temperatura entro i ±0,2°C. In questo modo, sia le dimensioni critiche del wafer che il suo profilo laterale rimangono costanti. L’architettura del riscaldatore permette di mantenere la temperatura del substrato indipendente dalle fluttuazioni ambientali; quindi, ogni lotto di wafer riceve lo stesso trattamento termico.
Perché è adatto al processo di litografia
Nella litografia e nel trattamento del fotoresist, l’essiccatore influisce direttamente sulla larghezza dei bordi del wafer, sull’adesione del fotoresist e sulla quantità di solventi residui che rimangono. Un’elevata omogeneità termica significa meno lavori di riparazione e meno problemi legati alla qualità del prodotto. La compatibilità con gli ambienti puliti e l’assenza di particelle riducono il numero di difetti; inoltre, il funzionamento del sistema è costante, senza interruzioni impreviste. Inoltre, l’uso di energia diminuisce, poiché gli emettitori regolano rapidamente la temperatura e funzionano a bassa potenza senza causare variazioni. Il risultato è un processo più stabile, con tempi di ciclo prevedibili.
Cosa è necessario per l’installazione
L’apparecchio richiede un alimentazione elettrica dedicata e filtrata, nonché un sistema di purga con azoto, per mantenere la qualità del prodotto anche a temperature elevate. L’integrazione con i sistemi esistenti è semplice, ma è necessario abbinare correttamente la massa termica e l’orientamento dei connettori affinché non ci siano interferenze meccaniche. È consigliabile effettuare un test di collaudo per definire correttamente le impostazioni di essiccazione; una volta impostate, queste rimarranno costanti nel corso delle varie produzioni.