Come assicurarci che i riscaldatori per wafer non esplodano
Trascorriamo molto tempo a preoccuparci delle tolleranze termiche quando costruiamo i riscaldatori per wafer. Ma, onestamente, tutta questa precisione non serve a nulla se l’isolamento elettrico fallisce. Un piccolo guasto nell’elettrodo di riscaldamento può distruggere il controllore o rovinare un intero lotto di silicio in pochi secondi. È una situazione disastrosa. Ecco perché non effettuiamo controlli casuali: ogni singolo dispositivo viene sottoposto a test di resistenza elettrica prima ancora di poter lasciare il nostro stabilimento.
Il modo in cui procediamo
Sottoponiamo i riscaldatori a test di alta tensione, molto superiori a quelle che subiscono durante l’uso normale, tra l’elettrodo e il chassis collegato a terra. In questo modo possiamo individuare eventuali difetti nel materiale isolante. Se c’è un piccolo foro nella vernice ceramica o un difetto nei terminali, la corrente aumenta drasticamente. Rileviamo questi difetti fin da subito, invece di aspettare che il riscaldatore abbia completato 50 cicli termici all’interno della macchina.
Perché siamo così severi
Se avete mai cercato di risolvere problemi legati a cortocircuiti all’interno di una camera a vuoto, sapete quanto sia difficile. È proprio quel tipo di problema che fa desiderare di rasarsi i capelli… Misurando la resistenza in Megaohm, ci assicuriamo che l’isolamento sia davvero solido. Se un riscaldatore fallisce i test di resistenza, viene considerato difettoso e finisce nella spazzatura. Non è possibile “riparare” uno strato isolante danneggiato: o è sicuro, oppure va gettato via.
Il compromesso da considerare
C’è bisogno di trovare un equilibrio. Se aumentiamo le specifiche di isolamento, dobbiamo utilizzare strati isolanti più spessi. Questo aumenta la resistenza termica tra l’elettrodo e il wafer. Otteniamo così un dispositivo più sicuro, ma il tempo necessario per farlo funzionare potrebbe essere leggermente più lungo. Si tratta semplicemente di trovare il giusto equilibrio tra sicurezza e velocità per la vostra configurazione specifica.
Vi invieremo i report dei test per ogni numero di serie. In questo modo, saprete esattamente quale era la corrente di perdita prima ancora che il pacco arrivi presso di voi.