Mengurangi Emisi Karbon dalam Proses Pengeringan MEMS menggunakan Sinar Infra Merah
Saat membuat sensor MEMS, menghilangkan kelembapan dari wafer-wafer tersebut merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian. Air perlu dihilangkan, tetapi kita tidak boleh menggunakan panas secara berlebihan, karena hal tersebut akan merusak struktur wafer tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi. Alih-alih memanaskan udara dan bagian-bagian lain di dalam ruangan, sinar inframerah langsung menargetkan molekul-molekul air. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih singkat. Kita tidak perlu membakar energi dalam jumlah besar hanya untuk menunggu mesin menjadi panas. Lampu inframerah dapat mencapai suhu target dalam hitungan detik saja. Jika produk berikutnya belum siap, kita cukup mematikan lampu tersebut. Tidak ada pemborosan energi.
Masalah di Ruang Bersih
Dalam lingkungan MEMS, setiap serpihan debu sekecil apa pun bisa menjadi bencana. Debu tersebut dapat merusak seluruh produksi. Untuk mencegah hal ini, kita menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi. Kemasan ini tidak mengeluarkan partikel debu, dan juga tidak menghasilkan gas berbahaya.
Namun, ada tantangan tersendiri. Untuk mendapatkan kepadatan panas yang tinggi, filamen lampu harus bekerja keras. Jika tidak hati-hati, filamen tersebut akan cepat rusak. Kita mengatasi hal ini dengan menyeimbangkan daya yang digunakan dengan aliran udara dingin yang cukup di sekitar ujung lampu. Semua itu dilakukan demi mencapai keseimbangan yang tepat.
Keseimbangan antara Panas dan Efisiensi
Inilah bagian yang sulit: semakin cepat proses produksi berlangsung, semakin banyak energi yang dibutuhkan. Lampu berdaya tinggi memang efektif untuk meningkatkan kecepatan produksi, tetapi lampu tersebut akan sangat panas, terutama di bagian soketnya. Jika sistem pendinginan tidak berfungsi dengan baik, kabel-kabel atau sensor-sensor akan rusak. Ini merupakan situasi yang sulit diatasi. Kita perlu menjaga suhu perangkat tetap rendah, sambil memastikan wafer tetap kering.
Beralih ke penggunaan sinar inframerah bukan hanya cara untuk mempercepat proses produksi. Ini juga merupakan cara untuk menghindari pemborosan energi akibat sistem pendingin konvensional. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk mencapai tujuan netral karbon, tanpa mengorbankan kualitas produksi.