Memastikan Pemanas Wafer Tidak Meledak
Kita menghabiskan banyak waktu untuk memperhatikan batasan-batasan termal saat membuat pemanas wafer. Namun sejujurnya, semua ketelitian tersebut tidak akan berguna jika lapisan isolasi listriknya gagal berfungsi.
Sebuah kebocoran kecil pada elemen pemanas saja sudah cukup untuk merusak kontroler atau menghancurkan seluruh produk silikon yang dihasilkan. Itu merupakan situasi yang sangat buruk. Itulah mengapa kita tidak melakukan pengujian secara acak. Setiap unit pemanas harus menjalani tes tegangan tinggi dan tes resistansi isolasi sebelum boleh digunakan.
Cara kami melakukannya
Kami memberikan beban tegangan tinggi pada pemanas tersebut—jauh lebih tinggi daripada yang akan dialaminya saat digunakan secara normal. Tujuannya adalah untuk mencari tahu apakah terjadi kerusakan pada lapisan isolasi. Jika ada lubang kecil pada lapisan keramik atau koneksi terminal yang tidak sempurna, arus listrik akan meningkat drastis. Kami mendeteksi cacat-cacat ini sejak dini, agar tidak sampai pemanas tersebut digunakan setelah melewati 50 siklus termal.
Mengapa kami sangat ketat dalam hal ini
Jika Anda pernah mencoba memperbaiki masalah korsleting di dalam ruang vakum, Anda pasti tahu betapa sulitnya hal tersebut. Masalah semacam ini benar-benar membuat seseorang ingin menyerah. Dengan mengukur nilai Megohm, kita dapat memastikan bahwa lapisan isolasi benar-benar kuat. Jika pemanas gagal dalam tes tegangan tinggi, maka pemanas tersebut akan dibuang. Tidak mungkin untuk memperbaiki lapisan isolasi yang rusak. Entah itu aman, atau langsung dibuang saja.
Kompromi yang perlu diketahui
Ada sedikit keseimbangan yang perlu dicapai di sini. Jika kita meningkatkan standar isolasi, kita perlu menggunakan lapisan isolasi yang lebih tebal. Hal ini akan meningkatkan rintangan termal antara elemen pemanas dan wafer. Dengan begitu, peralatan menjadi lebih aman, tetapi waktu pengoperasiannya mungkin sedikit lebih lambat. Semua itu dilakukan untuk menemukan keseimbangan antara keamanan dan kecepatan untuk kondisi penggunaan tertentu.
Kami akan mengirimkan laporan hasil tes untuk setiap nomor serienya. Dengan begitu, Anda akan tahu betapa besar arus bocornya sebelum barang tersebut sampai ke gudang Anda.