शॉवर को रोकें: जब लैंप खराब हो जाते हैं, तब अपने वेफर्स को साफ रखना
उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों में, लैंप का खराब होना कोई “तकनीकी त्रुटि” या थोड़ा समय का नुकसान नहीं है… बल्कि यह एक बड़ी समस्या है।
कल्पना कीजिए कि क्वार्ट्ज ट्यूब आपके वेफर्स के ठीक ऊपर ही टूट जाए… ऐसी स्थिति में कणों की बौछार हो जाती है, जिससे सिलिकॉन के सभी नमूने नष्ट हो जाते हैं। यह बहुत ही महंगा एवं निराशाजनक है… और यही कारण है कि हमने UHP हीटर लैंप बनाए।
आखिर ये ट्यूबें क्यों टूट जाती हैं?
आमतौर पर, ऐसा थर्मल शॉक या स्थानीय गर्मी के कारण होता है… यदि आप क्वार्ट्ज ट्यूब पर अधिक ऊर्जा लागू करते हैं, तो ट्यूब टूट जाती है।
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं… इसका पिघलने का बिंदु बहुत अधिक होता है, इसलिए यह गर्मी के कारण नष्ट नहीं होता। हम शुद्धता पर भी ध्यान देते हैं… क्योंकि थोड़ी सी भी धात्विक अशुद्धता ट्यूब में “कमजोर बिंदु” बना सकती है… जब ऊर्जा बढ़ जाती है, तो वहीं से ट्यूब टूटने लगती है।
“सुरक्षा उपाय”
हम केवल यही उम्मीद नहीं करते कि लैंप ठीक रहेगा… हम एक बैकअप योजना भी बनाते हैं।
सबसे पहले, हम UHP क्वार्ट्ज ट्यूबों को रासायनिक रूप से साफ करते हैं… फिर हम ऐसे कवर लगाते हैं… जो ट्यूब के टूटने पर उसके टुकड़ों एवं धूल को वेफर्स तक पहुँचने से रोकते हैं।
एक और सुझाव: अपने माउंटिंग ब्रैकेटों की जाँच करें… यदि वे थोड़े भी विक्षेपित हैं, तो वे लैंप पर यांत्रिक दबाव डालते हैं… उच्च-लोड स्थितियों में, यही कारण है कि लैंप जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
वास्तविक विकल्प
देखिए, UHP लैंप सबसे स्वच्छ ऊष्मा स्रोत हैं… लेकिन ये जादुई नहीं हैं… कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है।
कड़ी शुद्धता एवं उपयोग किए गए कोटिंगों के कारण, इन लैंपों से निकलने वाली अवरक्त ऊर्जा, सामान्य औद्योगिक लैंपों की तुलना में थोड़ी अलग होती है… इसलिए आपको अपने PID कंट्रोलरों को समायोजित करने की आवश्यकता है… ताकि तापमान सही रहे।
एक और सावधानी: यदि आप तेज़ गति हासिल करने हेतु ऊर्जा स्तर को अत्यधिक बढ़ा देते हैं, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएंगे… यह एक संतुलन का मामला है… आपको यह तय करना होगा कि क्या यह अतिरिक्त गति, रखरखाव के बीच के समय को कम करने के लायक है।