
शार्ड्स को रोकें – वेफर फैब में आईआर लैंपों को संभालने का बेहतर तरीका
उच्च-लोड वाले फैबों में, लैंपों के खराब होने से बहुत समस्याएँ होती हैं। यह सिर्फ बंद होने के समय की समस्या ही नहीं है… जब सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो ऐसा लगता है जैसे कोई ग्रेनेड फट गया हो… इससे काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफरों पर गिर जाते हैं।
यही कारण है कि हमने ट्विन-ट्यूब वाले, सोने से लेपित लैंप बनाए। हम ऐसे जोखिमों को शुरू होने से ही रोकना चाहते थे।
ट्विन-ट्यूब एवं सोना?
एकल ट्यूबों में गर्मी के केंद्र बन जाते हैं… इससे क्वार्ट्ज पर बहुत दबाव पड़ता है। दो ट्यूबों का उपयोग करने से यह गर्मी का दबाव कम हो जाता है… इससे काँच का तापमान बढ़ने से रोका जा सकता है… और लैंप भी ठंडा ही रहता है।
और सोना? यह सिर्फ सुंदर दिखने के लिए ही नहीं है… यह तो एक आईने की तरह काम करता है… गर्मी को लैंप के अंदर जाने से रोककर, यह आईआर विकिरण को सीधे वेफरों तक पहुँचाता है… इससे आवश्यक स्थानों पर ही अधिक गर्मी मिलती है… जबकि लैंप खुद ठंडा ही रहता है… इससे क्वार्ट्ज नरम या टूटने से बच जाता है।
चीजों को साफ एवं सुरक्षित रखना
हमने सीलिंग एवं लेपन पर बहुत समय लगाया… क्योंकि यहीं पर आमतौर पर समस्याएँ होती हैं… सोने की परत वास्तव में एक भौतिक ढाल की तरह काम करती है… यदि कोई छोटा टूटन हो जाए, तो यह लेपन हैलोजन गैस को थोड़ी देर तक अंदर ही रखने में मदद करता है… इससे संभावित “विस्फोट” को नियंत्रित किया जा सकता है…
लेकिन ध्यान रखें… कोई भी लैंप पूरी तरह सुरक्षित नहीं है… आपको अभी भी एक मजबूत सुरक्षा ढाँचे की आवश्यकता है… एक चेतावनी – यदि आप बिना पर्याप्त हवा के ही वॉटेज बढ़ा दें, तो आपके कनेक्टर नष्ट हो सकते हैं… इससे बचने हेतु, हम उच्च-तापमान वाले टर्मिनलों का उपयोग करते हैं… ताकि 24/7 चलने के दौरान भी आपके वायरिंग नष्ट न हों।
वास्तविक बदलाव
सोना सस्ता नहीं है… इसलिए इन लैंपों की कीमत सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों की तुलना में अधिक है… इनके कारण विकिरण का स्पेक्ट्रम भी थोड़ा बदल जाता है… आपको अपने PID कंट्रोलरों में बदलाव करने की आवश्यकता होगी… क्योंकि परावर्तन के कारण ऊष्मा तेजी से वेफरों तक पहुँच जाती है… इसके अलावा, यदि आपकी शीतलन प्रणाली पहले से ही कमजोर है, तो यह परावर्तित ऊष्मा आपके चेसिस पर अतिरिक्त दबाव डाल सकती है…
शुरुआत में इसे संभालना थोड़ा मुश्किल है… लेकिन यह वेफरों से काँच के टुकड़ों को साफ करने की तुलना में बेहतर है।