वास्तव में, कैटालिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया कोई साधारण कार्य नहीं है – यह तो एक गंभीर तापीय प्रक्रिया है, और इसके कारण उत्पादन में कमी आ सकती है। कन्वेक्शन ओवनों में तापमान में असमानताएँ होती हैं; हॉट प्लेटों के कारण वेफर पर तापमान में अंतर होता है। इसके कारण कैटालिस्ट की मात्रा में असमानताएँ होती हैं, छिद्र बन जाते हैं, एवं अशुद्धियाँ उत्पन्न हो जाती हैं।
हमने ठीक इसी समस्या को दूर करने हेतु ऐसा ही ड्राइंग लैंप विकसित किया है – यह नियर-इन्फ्रारेड प्रकाश द्वारा संचालित है, एवं इसमें वही तापीय नियंत्रण तंत्र है जो फोटोरेसिस्ट बेकिंग एवं लिथोग्राफी में उपयोग में आता है।
दैनिक उपयोग हेतु आवश्यक है कि आपके पास ऐसा नियंत्रण तंत्र हो जिस पर आप भरोसा कर सकें। यह सिस्टम नियर-इन्फ्रारेड प्रकाश के द्वारा तेजी से तापमान बढ़ाता है; सब्सट्रेट के संपर्क में आए बिना ही ऐसा होता है, एवं इसका परिणाम एक जैसा ही रहता है। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं निरंतर उपयोग के दौरान भी यह स्थिर रहता है।
यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; इसमें ऐसी सामग्रियाँ एवं सीलिंग उपकरण हैं जिनके कारण किसी भी प्रकार के कण उत्पन्न नहीं होते। यह सिस्टम बार-बार उपयोग में आ सकता है – हर बार एक ही तापीय प्रोफाइल, एक ही व्यवहार।
व्यावहारिक रूप से, यह सिस्टम सुखाने की प्रक्रिया में होने वाली असमानताओं को दूर करता है। इसके कारण कैटालिस्ट की संरचना बेहतर रहती है, एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है। बिजली की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल लक्षित वस्तु को ही गर्म करता है, न कि पूरे चैंबर को। यह सिस्टम 24/7 उपयोग हेतु उपयुक्त है; इसकी रखरखाव अवधि भी पहले से ही निर्धारित होती है, न कि यह यादृच्छिक रूप से ही खराब हो जाता है।
एक व्यावहारिक बात यह है कि नियर-इन्फ्रारेड ड्राइंग में प्रकाश की दिशा महत्वपूर्ण है; इसलिए फिक्स्चरों की ज्यामिति एवं रिफ्लेक्टरों का संरेखण ठीक होना आवश्यक है, ताकि पैटर्न वाले क्षेत्रों पर कोई छाया न पड़े। हमने ऐसा ही वैलिडेशन किट भी दिया है – थर्मोकपल मैप, तीव्रता प्रोफाइल, एवं क्लीनरूम-उपयुक्त माउंटिंग हार्डवेयर। इससे आपका पहला प्रयास ही वांछित मानकों के अनुरूप होगा।