En el área de fabricación, el perfil de temperatura dentro de una cámara PECVD es lo que determina las características del filme que se forma. Si el emisor comienza a funcionar de manera inestable, esto se detecta de inmediato; la tensión en el filme, su uniformidad en cuanto al espesor y la cantidad de partículas también se ven afectadas. Hemos diseñado nuestro emisor infrarrojo para que cumpla con los requisitos térmicos de los procesos modernos. Se trata de un sustituto perfecto para los equipos internacionales que ya utiliza.
Lo clave es el uso de infrarrojos de onda corta, que permiten transferir calor directamente al cuarzo y al sustrato. La respuesta del sistema es instantánea, por lo que los parámetros se ajustan rápidamente después de abrir la puerta de la cámara o de realizar cambios en las configuraciones. La uniformidad a nivel de oblea es de ±0.1°C, lo cual garantiza que los procesos de curado del fotorresist se realicen según las especificaciones establecidas, protegiendo así el control preciso del diámetro de las obleas.
El dispositivo es compatible con salas limpias de clase 1 a clase 100. No genera ninguna partícula, y sus perfiles de emisión han sido validados hasta el nivel de 0.1 μm. La eficiencia se debe a la conversión de energía resistiva en energía radiativa. En nuestras pruebas, el emisor funciona 24/7 sin interrupciones.
Lo que lo hace ideal para utilizarlo en sistemas PECVD es su capacidad para mantener un presupuesto térmico estable y asegurar la reproducibilidad de los procesos. Esto permite obtener resultados más consistentes entre uno y otro proceso, reducir las obleas defectuosas y planificar mejor los intervalos de mantenimiento. Se integra fácilmente en las cámaras existentes, sin necesidad de realizar modificaciones complejas en toda la línea de producción. De esta manera, su cronograma y sus procedimientos operativos se mantienen intactos.
La instalación es sencilla, pero es necesario que el anclaje térmico y la emisividad del sustrato coincidan con la curva de emisión del emisor. Es recomendable realizar un análisis rápido del perfil térmico después del cambio; así se puede confirmar que todo funciona correctamente. Una vez alineado todo, el proceso permanece estable, turno tras turno.