Secador de obleas _con calentamiento uniforme
En la planta de fabricación, una variación de 0,1°C durante el proceso de secado suave o duro es suficiente para causar desviaciones en las...
Calor uniforme para oblea IR de 300 mm
En una línea de 300mm, el soft bake y el hard bake no son solo pasos térmicos, sino también puntos críticos para el rendimiento. Si el calentamiento...