Im Produktionsbereich bestimmt das Temperaturprofil innerhalb einer PECVD-Kammer über die Eigenschaften des entstehenden Films. Wenn der Strahler anfängt, aus dem Gleichgewicht zu geraten, merkt man das sofort – auch der Spannungsgrad des Films, die Dicke des Films sowie die Anzahl der Partikel ändern sich entsprechend. Wir haben unseren PECVD-Heizstrahler so konzipiert, dass er den Anforderungen der modernen Fertigungssysteme entspricht. Er kann somit als Ersatz für die bereits vorhandenen Geräte eingesetzt werden.
Der Kern des Strahlers besteht aus Kurzwellen-Infrarotstrahlung, die dazu dient, Wärme direkt in den Quarzkörper sowie in den Substratträger abzugeben. Die Reaktion erfolgt in unter einer Sekunde – dadurch können die Einstellungen schnell wieder auf den richtigen Wert gebracht werden, sobald eine Tür geöffnet wird oder sich die Verarbeitungsparameter ändern. Auf Wafer-Ebene bleibt die Homogenität bei ±0,1°C – das sorgt dafür, dass die Profile für das Weich- und Hartbrennen des Fotoleits übereinstimmen und eine präzise Kontrolle der CD-Werte möglich ist.
Der Strahler ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet. Er erzeugt keine Partikel, und seine Strahlungsprofile sind bis zu einem Wert von 0,1 μm genau kontrolliert. Die Effizienz ergibt sich aus der Umwandlung von Resistivenergie in Strahlungsenergie. In unseren Tests funktionierte der Strahler 24/7 ohne Ausfälle.
Was ihn für die Verwendung in PECVD-Geräten qualifiziert, ist die Einhaltung der thermischen Anforderungen sowie die Reproduzierbarkeit der Prozesse. Dadurch erhält man eine bessere Übereinstimmung zwischen den verschiedenen Prozessschritten, weniger Ausschussware und planbare Wartungsintervalle. Der Strahler kann problemlos in bestehende Kameras integriert werden, ohne dass eine vollständige Neukalibrierung erforderlich ist. Dadurch bleiben Zeitpläne und Betriebsabläufe unverändert.
Die Installation ist einfach – doch die thermische Anpassung sowie die Emissivität des Substratträgers müssen zur Leistungskurve des Strahlers passen. Nach dem Austausch sollte ein schnelles Temperaturprofil erstellt werden, um sicherzustellen, dass alles ordnungsgemäß funktioniert. Sobald alles eingestellt ist, bleibt der Prozess Schicht für Schicht stabil.