In der Lithografie-Bereichstechnik ist eine gleichmäßige Temperatur während des Trocknungsprozesses nicht nur wünschenswert – sie ist vielmehr...

Auf der Fertigungsebene ist das Backen des Photoresists kein Aufwärmen. Es ist eine harte Prozessgrenze. Verfehlt man die Temperatur um wenige Grad...