Sicherstellen, dass Ihre Waferheizer nicht explodieren
Wir investieren viel Zeit und Mühe in die Gewährleistung der thermischen Toleranzen bei der Herstellung unserer Waferheizer. Doch ehrlich gesagt: All diese Präzisionen sind nutzlos, wenn die elektrische Isolierung versagt.
Ein kleiner Defekt im Heizelement kann dazu führen, dass der Controller beschädigt wird – oder dass eine ganze Charge an Siliziumprodukten zerstört wird. Das ist ein Albtraumszenario. Deshalb führen wir keine zufälligen Tests durch. Jedes einzelne Gerät muss vor dem Verlassen unseres Betriebs einer Hochspannungstest sowie einem Isolierwiderstandstest unterzogen werden.
So machen wir es in der Praxis
Wir unterziehen die Heizer einem Hochspannungstest – mit einer Spannung, die deutlich höher ist als die, die sie im normalen Betrieb erleben müssen. So können wir feststellen, ob es zu einem Durchbruch der Isolierung kommt.
Falls es Löcher in der Keramikbeschichtung oder fehlerhafte Verbindungen an den Anschlüssen gibt, steigt der Stromfluss an. Wir erkennen solche Fehler bereits frühzeitig – anstatt bis zu den 50 Temperaturzyklen im Einsatz warten zu müssen.
Warum wir so streng sind
Wenn Sie schon einmal versucht haben, einen intermittierenden Kurzschluss in einer Vakuumkammer zu beheben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Es handelt sich dabei um ein Problem, das wirklich frustrierend sein kann.
Durch die Messung des Isolierwiderstands stellen wir sicher, dass die Isolierung tatsächlich zuverlässig ist. Wenn ein Heizer den Hochspannungstest nicht besteht, landet er im Müll. Man kann eine beschädigte Isolierschicht einfach nicht reparieren. Entweder ist das Gerät sicher – oder es ist nutzlos.
Der Kompromiss, den man berücksichtigen muss
Es gibt hier einen gewissen Kompromiss. Wenn wir die Anforderungen an die Isolierung erhöhen, müssen wir dickere Beschichtungen verwenden. Dadurch entsteht mehr Widerstand zwischen dem Heizelement und dem Wafer. Dadurch wird das Gerät sicherer – doch die Aufwärmzeit kann etwas länger sein. Es geht darum, den richtigen Ausgleich zwischen Sicherheit und Geschwindigkeit für Ihre spezielle Anwendung zu finden.
Wir senden Ihnen die Testberichte für jede Seriennummer. So wissen Sie genau, welcher Leckstrom vor dem Eintreffen der Ware bei Ihnen vorhanden war.