Einhellmischer für das gleichmäßige Erhitzen von Wafern
In der Produktionsstätte reicht bereits eine Temperaturschwankung von 0,1 °C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs aus, um zu Fehlern bei der...
Einheitliche Wärme für 300 mm Wafer IR
Auf einer 300mm Linie sind Softbake und Hardbake nicht nur thermische Schritte – sie sind Ertragstore. Wenn Ihre IR-Heizung nicht gleichmäßig ist,...