Hören Sie auf, Energie bei der Trocknung der Wafern zu verschwenden
Beim Trocknen von Wafern bedeutet jede verschwendete Watt-Stunde im Grunde genommen nur Geldverschwendung – außerdem entsteht dadurch ein unnötiges Risiko einer Kontamination.
Denken Sie an die Trockenungslampe: Sie gibt Energie in alle Richtungen ab – also in 360 Grad. Doch die Wafer befinden sich nur auf einer Seite. Das bedeutet, dass die Hälfte der Energie einfach nur die Luft hinter der Lampe erwärmt. Das ist reine Verschwendung.
Wir lösen dieses Problem mit goldbeschichteten Reflektoren. Diese fangen die Energie, die nach hinten abgegeben wird, auf und leiten sie wieder zurück auf das Substrat.
Warum Gold?
Sie fragen sich vielleicht, warum wir nicht einfach poliertes Aluminium verwenden. Das Problem ist, dass Aluminium zu viel Infrarotenergie absorbiert. Es kann diese Energie nicht gut genug reflektieren.
Gold hingegen ist hervorragend darin, Langwellen- und Mittelwellen-Infrarotstrahlung zu reflektieren. Wir tragen eine dünne Schicht Gold auf eine präzise geformte Oberfläche auf – dadurch erreicht fast jede Watt-Stunde tatsächlich die Wafer. So erreichen Sie die gewünschte Temperatur schneller, und Ihre Stromrechnung bleibt niedrig.
Die Wärme genau dort platzieren
Die Form des Reflektors ist entscheidend. Wir verwenden parabolische oder elliptische Kurven, um die Energie in einen engen Fokuspunkt zu lenken. Dadurch entsteht eine Zone mit hoher Wärmedichte. Die Trocknungszeit verkürzt sich damit erheblich.
Aber Achtung: Wenn der Reflektor beschädigt ist oder nicht ganz ordentlich gearbeitet hat, entstehen „kalte Stellen“. Das ist katastrophal – es führt zu ungleichmäßiger Trocknung, was meist dazu führt, dass das Teil als Ausschuss endet.
Ein paar Dinge, auf die Sie achten sollten
Gold ist zwar der Goldstandard – doch es ist weich und kann keine Belastungen aushalten. Wenn Sie abrasive Reinigungsmittel verwenden oder grob vorgehen, werden die Beschichtungen beschädigt. Solche Kratzer sind nicht nur unschön – sie schaffen außerdem Stellen, an denen die Wärme statt reflektiert wird, absorbiert wird. Das kann dazu führen, dass der Reflektor überhitzt.
Bleiben Sie einfach: Tragen Sie Handschuhe und verwenden Sie nicht-reaktive Reinigungsmittel.
Diese sind als Ersatz für Ihre aktuellen Reflektoren konzipiert – daher ist ihr Austausch einfach. Stellen Sie sicher, dass die Lampe genau in der Mitte steht. Wenn sie auch nur leicht verschoben ist, verschiebt sich der Fokuspunkt – und Sie verlieren alle Vorteile, von denen wir gesprochen haben.