Wie man die Heizgeräte in den Reinraumwagen sicher hält – und die Wafer unbeschädigt lässt
In einem Halbleiter-Reinraum gibt es einfach keinen Platz für Fehler. Wenn wir Heizgeräte für Transportwagen herstellen, kümmern wir uns nicht nur darum, ob die Wärmeverteilung gleichmäßig ist. Vielmehr machen wir uns Sorgen um mögliche elektrische Lecks.
Ein kleiner Funke oder eine kleine Riss im Isoliermaterial reicht bereits aus, um eine ganze Charge an Wafern zu zerstören oder einen Schalter auszulösen, der das gesamte System abschaltet. Das ist kein guter Tag für niemanden.
Warum wir jedes einzelne Gerät testen
Wir verwenden hier keine zufällige Stichprobenprüfung – das ist zu riskant. Stattdessen wird jedes Heizelement vor dem Verlassen unseres Betriebsgebäudes einer vollständigen Spannungstests sowie einem Isolationswiderstandstest unterzogen.
Im Grunde genommen üben wir auf das Isoliermaterial enorme Spannungen aus – Spannungen, die weit über denen liegen, die im echten Einsatz auftreten werden. Falls es mikroskopisch kleine Lücken im Keramikmaterial oder kleine Risse in der Quarzhülle gibt, fließt Strom durch diese Stellen. Wir möchten solche Defekte lieber schon im Labor entdecken, anstatt dass Sie sie erst im Reinraum bemerken. Das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass das Heizelement vollständig vom Chassis des Transportwagens isoliert ist.
Die Kompromisse, die Sie kennen sollten
Wir verwenden hochreine Materialien, um Ausgasungen zu verhindern. In Ihrem Umfeld ist das selbstverständlich. Doch dieser hohe Standard bringt auch physische Nachteile mit sich. Die Geräte sind etwas größer als herkömmliche Industriheizgeräte. Um die strengen Isolationsprüfungen zu bestehen, müssen wir dicke Isolierschichten verwenden – dadurch wird das Heizelement breiter.
Stellen Sie sicher, dass die Befestigungsschrauben für den Transportwagen genau richtig dimensioniert sind, damit alles ordentlich sitzt.
Verkabelung
Sobald die Geräte ankommen, kommt die Verkabelung ins Spiel. Dabei muss man besonders auf eine korrekte Erdung achten. Selbst bei unseren Tests macht eine schlechte Erdung alle Anstrengungen bezüglich der Isolation zunichte. Wir liefern klare Verdrahtungspläne, damit Sie das Heizelement von der Transportelektronik trennen können. So wird verhindert, dass elektromagnetische Störungen in Ihre Sensoren gelangen – dadurch bleiben Ihre Daten sauber.